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J-GLOBAL ID：201802268290026673   整理番号：18A0969368

RF ICP放電に及ぼすイオン-中性衝突過程の影響の数値解析【JST・京大機械翻訳】

Numerical analysis of effects of ion-neutral collision processes on RF ICP discharge

著者 (4件)： Nishida K. (Graduate School of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kouhoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan) ,  Mattei S. (CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland) ,  Lettry J. (CERN, 1211 Geneva 23, Switzerland) ,  Hatayama A. (Graduate School of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kouhoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 123  号： 4  ページ： 043305-043305-10  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波(RF)誘導結合プラズマ(ICP)の放電過程を,電磁粒子-インセルモンテカルロ衝突法(EM PIC-MCC)によりモデル化した。速度論的観点からRF ICPの放電モード遷移を調べるための以前のモデルによってシミュレーションを行ったが,モデルは中性粒子によるイオン(H+とH2+)の衝突過程を無視した。本研究では,イオン-中性衝突過程を考慮したモデルの最新版により,RF ICP放電過程を調べた。以前のモデルによって提供された放電モード遷移の基本特性を,以前の結果と現在の結果の間の比較によって検証した。一方,Hモード放電領域では,イオン-中性衝突がプラズマ成長の評価に重要な役割を果たしている。また,プラズマの速度論的特徴に及ぼすイオン-中性衝突の影響を調べ,RF ICP放電をモデル化するための速度論的観点の重要性を強調した。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *数値解析 ,  速度論 ,  誘導結合プラズマ ,  *放電 ,  モデリング ,  HF【周波数】 ,  プラズマ ,  中性粒子 ,  Hモード閉込め ,  モード遷移 ,  *衝突過程 ,  *中性

分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (7件)： RF ,  ICP ,  放電 ,  イオン ,  中性 ,  衝突過程 ,  数値解析