文献

J-GLOBAL ID：201802268302087351   整理番号：18A1475544

真空機器の保守・管理と安全

Safety and Maintenance Management for Vacuum Equipment

著者 (1件)： 穂坂浩之 (アルバックテクノ株式会社)
資料名： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
巻： 61  号： 8  ページ： 496-504(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： G0194B  ISSN： 2433-5835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・真空装置としてあるべき姿を想定し,必要な保守管理及び安全性について述べる講座。
・故障曲線(初期故障,偶発故障,摩耗故障)の紹介と,保守の考え方の解説。
・油回転真空ポンプ,ルーツ真空ポンプ,ルーツ型ドライ真空ポンプ,拡散ポンプ,拡散エジェクタポンプ,クライオポンプ,ターボ分子ポンプ,スパッタイオンポンプを取上げ,真空ポンプを使用するうえで必要な保守や管理ポイントの紹介。
・固定シールおよび運動シールとしてのエラストマー,金属ガスケットの真空シールとしての使用上の留意点。
・真空装置性能の日常的監視手法として,圧力上昇試験,真空排気速度試験,質量分析計による真空槽内の気体分圧試験の紹介。
・真空機器・装置取扱い時の作業の安全に関し,保守作業時の注意事項,教育・トレーニング,安全データシート(SDS),危険なエネルギー源の遮断,大気開放時の注意,真空槽内清掃時の注意の項目の解説。
・作業者の心構えとルール遵守に関して,危険予知活動,リスクアセスメントの紹介。

シソーラス用語： *真空装置 ,  *保守管理 ,  *安全性 ,  初期故障 ,  偶発故障 ,  摩耗故障 ,  *真空ポンプ ,  クライオポンプ ,  分子ポンプ ,  イオンポンプ【真空】 ,  圧力変動 ,  速度 ,  質量分析計 ,  分圧 ,  *真空シール ,  ゴム ,  ガスケット ,  性能試験 ,  労働安全 ,  安全教育 ,  適応訓練 ,  データシート ,  *安全管理 ,  リスク評価 ,  エラストマ ,  ルーツ真空ポンプ ,  圧力上昇 ,  拡散ポンプ ,  排気速度 ,  油回転真空ポンプ ,  スパッタポンプ ,  ターボモレキュラポンプ ,  訓練 ,  安全データシート ,  教育訓練
準シソーラス用語： ガス分圧 ,  スパッタイオンポンプ ,  ターボ分子ポンプ ,  ドライ真空ポンプ ,  トレーニング ,  *リスクアセスメント ,  化学物質等安全データシート ,  *危険予知トレーニング ,  *作業安全 ,  *真空機器

著者キーワード (8件)： safty ,  maintenance ,  management ,  equipment ,  safty ,  maintenance ,  management ,  equipment

分類 (3件)： 真空技術  (BA02020L) ,  信頼性  (KB04040H) ,  安全管理  (KB06000D)

引用文献 (5件)：

• 1) Y. Gotoh : J. Vac. Soc. Jpn. 59, 184 (2016). (in Japanese)
• 2) 中山勝也 : “新版真空技術実務読本” 竹生修己編(株式会社オーム社, 東京, 1994)p.92-94,p.148-149.
• 3) SEAJ(一社)日本半導体製造装置協会 : SEAJ推奨サービス安全教育・テキストR.4.00,東京(2017年4月1).
• 4) ミドリ安全株式会社 商品カタログLOCKOUT SYSTEM CATALOG VOL.6(2015年発行A270743-1 05K)p.12右下1外部ハンドルへの使用例,4PSL-CBILNTの使用例,p.17右下5ボールバルブ使用例.
• 5) JIS B 9700:2013 機械類の安全性-基本概念,設計のための一般原則- リスクアセスメント及びリスク低減.

タイトルに関連する用語 (2件)： 真空機器 ,  保守