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J-GLOBAL ID：201802268882513418   整理番号：18A0401923

調整された機械的異方性のための積層懸濁液を用いた3次元ピエゾ抵抗シリコンマイクロプローブ【Powered by NICT】

3D piezoresistive silicon microprobes with stacked suspensions for tailored mechanical anisotropies

著者 (3件)： Metz D. (Technische Universitaet Braunschweig, Institute of Microtechnology, Braunschweig, Germany) ,  Ferreira N. (Technische Universitaet Braunschweig, Institute of Microtechnology, Braunschweig, Germany) ,  Dietzel A. (Technische Universitaet Braunschweig, Institute of Microtechnology, Braunschweig, Germany)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 267  ページ： 164-176  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンをベースにしたピエゾ抵抗マイクロプローブの異なる種類の高精度測定を可能にするために開発されてきた。しかし,そのようなシステムの典型的な機械的異方性は先端の滑りをもたらし,傾斜面を調べる。,新規マイクロプローブ設計を提示した,これは範囲異方性または完全な等方性を提供するために調整することができた。最初の方法では,マイクロプローブは二積層シリコン膜で構成されている。第二の方法では,レーザ構造化箔の形でステンレス鋼懸濁液を,シリコン膜上に積層した。幾何学的パラメータ研究は,全ての空間方向の剛性に及ぼすそれらの影響を決定し,異方性を予測するための機械的FEM(有限要素法)シミュレーションにより行った。選択された形状を持つマイクロシステムを作製し,積層は,ウエハレベルに及ぼす選択的接着剤移動と結合を介して得られた。3と0.4の間の異方性を持つプロトタイプを特性化シミュレーションを確認した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 構造形成 ,  シミュレーション ,  有限要素法 ,  キャラクタリゼーション ,  ステンレス鋼 ,  *三次元 ,  *異方性 ,  *ケイ素 ,  プロトタイプ ,  *懸濁液 ,  剛性 ,  *マイクロプローブ ,  等方性 ,  接着剤
準シソーラス用語： *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 3次元マイクロプローブシステム ,  圧抵抗効果 ,  触覚座標測定 ,  レーザ構造化 ,  ウエハレベルボンディングと調整された機械的異方性

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 異方性 ,  懸濁液 ,  3次元 ,  ピエゾ抵抗 ,  シリコン ,  マイクロプローブ