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J-GLOBAL ID：201802269591023668   整理番号：18A0426070

改良された流体透過特性を有する機械的に安定なAAO膜の作製【Powered by NICT】

Fabrication of mechanically stable AAO membrane with improved fluid permeation properties

著者 (4件)： Aminullah (Department of Physics, University of Balochistan Quetta, Pakistan) ,  Kasi Ajab Khan (Department of Physics, University of Balochistan Quetta, Pakistan) ,  Kasi Jafar Khan (Department of Physics, University of Balochistan Quetta, Pakistan) ,  Bokhari Muzamil (Department of Physics, University of Balochistan Quetta, Pakistan)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 187-188  ページ： 95-100  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Al集合組織化したAAO(AT AAO)膜として知られているAl支持メッシュを提供することにより,薄くて機械的に安定な陽極酸化アルミニウム(AAO)膜システムの開発を示した。AAOは支持メッシュパターンを形成するために片側からAAO,およびAlのエッチングしたAl基板の両面上に作製した。AT AAOは自立AAO(FS AAO)膜よりもほぼ3倍大きい機械的安定性を強めた。膜システムの両方は,アセトン,メタノール,ジメチルホルムアミド,水,シクロヘキサン,エタノール,イソプロピルアルコール,及びn-ブタノールの流体流と透過性を比較した。最大許容圧力では,AT AAO膜はアセトン中でFS AAO膜よりも流量と3.65倍高い透過を4倍高かった。厚さ5.4μmのAT AAO膜は理論計算と比較して,3倍高い浸透性を示した。流体透過におけるこの非常に増強因子はAAO膜系で以前に報告されていない。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *アルミニウム ,  浸透率 ,  集合組織 ,  流量 ,  流体流 ,  脂肪族アルコール ,  シクロアルカン ,  脂肪族カルボン酸 ,  カルボアミド ,  脂肪族ケトン
準シソーラス用語： 理論計算 ,  透過性 ,  機械的安定性 ,  AAO【酸化物】 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： FS AAO膜 ,  AAO膜 ,  機械的安定性 ,  壊れる圧力 ,  透過 ,  流量

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (5件)： エタノール ,  シクロヘキサン ,  ジメチルホルムアミド ,  メタノール ,  アセトン

タイトルに関連する用語 (4件)： 流体 ,  透過 ,  AAO ,  作製