文献
J-GLOBAL ID：201802269779654783
整理番号：18A1496482
P(VDF/TrFE)薄膜を用いた高周波型MEMS超音波アレイセンサの開発
Development of High Frequency Type MEMS Ultrasonic Array Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films
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著者 (3件)：
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資料名：
号：
MSS-18-007-015.017.019-029 マイクロマシン・センサシステム研究会
ページ：
71-74
発行年：
2018年07月12日
JST資料番号：
Z0924B
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
原著論文
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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