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J-GLOBAL ID:201802270587943867   整理番号:18A0842592

金被覆なしの冷電界放出SEMによる直接形態観察の最適化研究【JST・京大機械翻訳】

Optimization study of direct morphology observation by cold field emission SEM without gold coating
著者 (4件):
資料名:
巻: 109  ページ: 53-57  発行年: 2018年 
JST資料番号: E0318E  ISSN: 0968-4328  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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金被覆は,一般的に非導電性または低導電性材料に適用される一般的な操作であり,その間,材料の形態を走査電子顕微鏡(SEM)によって調べることができる。しかし,材料の致命的な欠陥は不可逆的な歪と損傷をもたらす。本研究では,金被覆なしの低温電界放出走査電子顕微鏡(FE-SEM)により,ヒドロキシアパタイト,改質ポリ(フッ化ビニリデン)(PVDF)繊維,および酸化亜鉛ナノピラーのような種々の低導電性材料を直接特性化した。低導電性材料の特性に従って,種々の作動信号モード,加速電圧,電子ビームスポット,および動作距離などの種々の試験条件を,各サンプルの最良の形態学的観察を決定するために特性評価した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (4件):
分類
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電子顕微鏡,イオン顕微鏡  ,  無機化合物のルミネセンス  ,  酸化物薄膜  ,  顕微鏡法 

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