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J-GLOBAL ID：201802271853035146   整理番号：18A0281734

MeV SIMSのための二次イオン収率に及ぼす実験パラメータの影響【Powered by NICT】

Influence of experimental parameters on secondary ion yield for MeV-SIMS

著者 (4件)： Stoytschew Valentin (Ruder Boskovic Institute, Zagreb, Croatia) ,  Bogdanovic Radovic Iva (Ruder Boskovic Institute, Zagreb, Croatia) ,  Siketic Zdravko (Ruder Boskovic Institute, Zagreb, Croatia) ,  Jaksic Milko (Ruder Boskovic Institute, Zagreb, Croatia)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 404  ページ： 110-113  発行年： 2017年 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メガ電子ボルト二次イオン質量分析(MeV SIMS)は分子スペシエーションとサブミクロンイメージングのための新たなイオンビーム分析技術である。異なる実験装置を構築した後実験パラメータに及ぼす二次イオン収率の依存性に関する系統的な研究が重要である。この知識なしに,結果は表面粗さ,走査サイズと試料上の位置は二次イオン数に影響を及ぼすことができると解釈が困難と紛らわしい画像を得ることができた。さらに,良好な再現性を達成するための最適実験条件を良く知る必要がある。本研究では,主な実験パラメータの影響二次イオン収率に及ぼすについての研究結果を提示した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 走査 ,  再現性 ,  *二次イオン ,  画像 ,  スペシエーション
準シソーラス用語： イオンビーム分析 ,  *イオン収率 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 降伏 ,  MeVのSIMS ,  イオンビーム分析

分類 (5件)： イオン放出  (BM09070V) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V) ,  イオンとの相互作用  (BK16070Z) ,  質量分析  (CC03013N) ,  スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (4件)： SIMS ,  イオン収率 ,  実験 ,  パラメータ