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J-GLOBAL ID：201802273962030835   整理番号：18A0010706

Effect of Mixing Ratio of Non-Spherical Particles in Colloidal Silica Slurry on Oxide CMP

著者 (4件)： LEE Hojun (Pusan National Univ., Busan, KOR) ,  LEE Dasol (Pusan National Univ., Busan, KOR) ,  KIM Moonsung (ACENanochem Co., Ltd., Gyeongsangbuk-do, KOR) ,  JEONG Haedo (Pusan National Univ., Busan, KOR)
資料名： International Journal of Precision Engineering and Manufacturing  (International Journal of Precision Engineering and Manufacturing)
巻： 18  号： 10  ページ： 1333-1338  発行年： 2017年10月 
JST資料番号： A1070A  ISSN： 2234-7593  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 韓国 (KOR)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (1件)： CMP