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J-GLOBAL ID:201802274015248866   整理番号:18A0005418

中赤外発光受光素子用III-V(Sb)系材料の結晶成長と評価

Crystal Growth and Evaluation of III-V(Sb) Materials for Mid Infrared Emitter and Detector
著者 (8件):
資料名:
巻: 45  号: 12  ページ: 768-772  発行年: 2017年12月20日 
JST資料番号: X0335A  ISSN: 0387-0200  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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・中赤外デバイス用の受光素子で利用される半導体材料として,III-V系材料に着目し,その結晶成長と性能評価について検討。
・GaAs基板上にMOVPE成長させたInAsSbバルク結晶での光吸収や,InAs基板上に形成したInAs/Ga(As)Sbへテロ構造超格子での発光特性を評価。
・GaAs/InAsSb構造では3~6μmの吸収端を確認し,MOVPE法での格子整合条件を見出して,2~5μm帯のフォトルミネッセンスを有する良好な結晶を実現。
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分類 (2件):
分類
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半導体の結晶成長  ,  赤外・遠赤外領域の測光と光検出器 
タイトルに関連する用語 (5件):
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