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J-GLOBAL ID:201802274511620308   整理番号:18A1138602

物理蒸着n-ZnS/p-Si(100)ヘテロ接合のダイオード特性と空間電荷制限伝導に及ぼす熱アニーリングの影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of thermal annealing on the diode properties and space charge limited conduction of the physical vapor-deposited n-ZnS/p-Si(100) heterojunctions
著者 (4件):
資料名:
巻:号: 7 P1  ページ: 15174-15179  発行年: 2018年 
JST資料番号: W3531A  ISSN: 2214-7853  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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自家製の物理蒸着装置により堆積した成長したままのn-ZnS/p-Si(100)の素子性能に及ぼす熱アニーリングの影響を,暗電流測定下での室温でのI-V特性の解析により調べた。成長させたままと熱的にアニールした試料の両方が整流ダイオード様挙動を示し,逆バイアス下では,成長したままの試料において-15V以上の電圧で漏れ電流のアバランシェが観測されることを明らかにした。熱アニーリング後,ほぼ完全に消滅する漏れ電流と順方向電流の劇的な増加が示された。光の異なる波長(200~800nm)への試料の曝露は,UV(~339nm)および可視域(500,550および600nm)のいくつかの波長において有望な光検出特性を有する熱アニール試料を示した。成長させたままおよび熱的にアニールしたn-ZnS/p-Si(100)ヘテロ接合の電流輸送は,主に空間電荷制限伝導であり,表面および材料のバルク中に欠陥状態が存在する可能性がある。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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13-15族化合物を含まない半導体-半導体接合  ,  測光と光検出器一般 

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