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J-GLOBAL ID：201802275104728847   整理番号：18A1237790

5次の幾何収差補正装置における残留収差の評価

Evaluation of residual aberration in fifth-order geometrical aberration correctors

著者 (5件)： MORISHITA Shigeyuki (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  KOHNO Yuji (JEOL Ltd., Tokyo, JPN) ,  HOSOKAWA Fumio (BioNet Lab. Inc., Tokyo, JPN) ,  SUENAGA Kazu (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  SAWADA Hidetaka (JEOL Ltd., Tokyo, JPN)
資料名： Microscopy  (Microscopy)
巻： 67  号： 3  ページ： 156-163  発行年： 2018年06月 
JST資料番号： W1384A  ISSN： 2050-5698  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ・本論文では,6次の非点収差を補正した後の残存収差を提示し,計算と実験により収差を低減する方法を決定。
・計算された残留収差を,二重六重極場補正器および三重六極場補正器において提示。
・6次3ローブ収差は,計算の結果として,進んだ2重六重極およびデルタ補正器の両方における支配的な残存収差。
・著者らは,プローブおよび画像形成システム用のデルタ補正器を備えた低加速電圧専用のTEMを使用することによって,残留収差を実験的に証明。
・収差計算は,二重六重極およびデルタ補正器における5次収差の補正後の6次3次収差(R7)が支配的な残留収差であることを証明。
・小さな残留物R7と平衡の影響は,単層のグラフェンシートとWS₂のサンプルを使用して,低kV TEMイメージングで実験的に同定。

シソーラス用語： *収差補正 ,  *非点収差 ,  *多重極 ,  像形成 ,  電圧 ,  *透過型電子顕微鏡 ,  グラフェン ,  タングステン化合物
準シソーラス用語： *六重極 ,  画像形成 ,  加速電圧 ,  グラフェンシート ,  二硫化タングステン

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 幾何 ,  収差補正 ,  残留 ,  収差 ,  評価