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J-GLOBAL ID：201802275944359460   整理番号：18A0446798

積層ナノシートゲートオールアラウンドトランジスタのための高k金属ゲート基本学習とマルチV_tオプション【Powered by NICT】

High-k metal gate fundamental learning and multi-V_t options for stacked nanosheet gate-all-around transistor

著者 (21件)： Zhang Jingyun (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Ando Takashi (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Yeung Chun Wing (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Wang Miaomiao (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Kwon Ohseong (SAMSUNG ELECTRONICS, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Galatage Rohit (GLOBALFOUNDRIES, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Chao Robin (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Loubet Nicolas (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Moon Bum Ki (GLOBALFOUNDRIES, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Bao Ruqiang (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Vega Reinaldo A. (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Li Juntao (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Zhang Chen (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Liu Zuoguang (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Kang Myunggil (SAMSUNG ELECTRONICS, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Miao Xin (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Wang Junli (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Kanakasabapathy Sivananda (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Basker Veeraraghavan S. (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Jagannathan Hemanth (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203) ,  Yamashita Tenko (IBM, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IEDM  ページ： 22.1.1-22.1.4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,積層ナノシートゲートオールアラウンド(GAA)トランジスタのための多閾値電圧(多重Vt)オプションを報告した。V_tは仕事関数金属(WFM)厚さ並びに内部ナノシート間隔(T_sus)の組み合わせは,FinFET CMOSデバイスメニュー,V_t同調オプションとしてT_susを持たない基本的にCMOSデバイスメニュー以内で,未ドープV_t提供の数を増加させるために利用できるによって調節することができた。積層GAAトランジスタのユニークな構造を利用することにより,著者らの多V_t方式を提案した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： CMOS ,  *トランジスタ ,  同調 ,  仕事関数 ,  多重化 ,  ドーピング ,  *ナノシート ,  *学習
準シソーラス用語： FinFET ,  閾値電圧 ,  *メタルゲート , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  計算理論  (JB02000A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 金属ゲート ,  学習 ,  マルチ ,  オプション