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J-GLOBAL ID：201802276431044895   整理番号：18A1689170

高圧ねじり処理後の異なるドーピング濃度のSiの電気的性質に及ぼす準安定相の影響【JST・京大機械翻訳】

Impact of metastable phases on electrical properties of Si with different doping concentrations after processing by high-pressure torsion

著者 (9件)： Chon Bumsoo (Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering, Kyushu University, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Ikoma Yoshifumi (Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering, Kyushu University, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Kohno Masamichi (Department of Mechanical Engineering, Faculty of Engineering, Kyushu University, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Kohno Masamichi (International Institute of Carbon-Neutral Energy Research (I2CNER), Kyushu University, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Shiomi Junichiro (Department of Mechanical Engineering, The University of Tokyo, Tokyo 113-8656, Japan) ,  McCartney Martha R. (Department of Physics, Arizona State University, Tempe, AZ 85287, USA) ,  Smith David J. (Department of Physics, Arizona State University, Tempe, AZ 85287, USA) ,  Horita Zenji (Department of Materials Science and Engineering, Faculty of Engineering, Kyushu University, Fukuoka 819-0395, Japan) ,  Horita Zenji (International Institute of Carbon-Neutral Energy Research (I2CNER), Kyushu University, Fukuoka 819-0395, Japan)
資料名： Scripta Materialia  (Scripta Materialia)
巻： 157  ページ： 120-123  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0915A  ISSN： 1359-6462  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のドーピングレベルのSi(100)ウエハを高圧ねじり(HPT)にかけた。すべてのドーピングレベルに対する抵抗率は,初期圧縮後に一桁または二桁増加したが,HPT処理の10回転後に,通常および高ドープ試料に対しては約0.1Ωcm,超高ドープ試料に対しては約0.02Ωcmに減少した。873Kでのアニーリング後,抵抗率は元のSiウエハに比べて4桁増加した。これらの結果は,準安定相の形成がHPT処理試料の電気抵抗率に重要な役割を果たすことを示している。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気的性質 ,  *ドーピング ,  *ケイ素 ,  半導体 ,  *準安定相 ,  電気抵抗率 ,  焼なまし
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  *HPT加工 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 重塑性変形 ,  高圧ねじり ,  半導体 ,  電気的性質 ,  準安定相

分類 (3件)： 機械的性質  (WB02030U) ,  特殊成形  (WC04040W) ,  変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高圧ねじり ,  ドーピング ,  Si ,  電気的性質 ,  準安定相