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J-GLOBAL ID：201802276455688824   整理番号：18A0187352

Al/AlN/Si構造に基づくSAW温度センサのFEMシミュレーション【Powered by NICT】

FEM simulation of SAW temperature sensor based on Al/AlN/Si structure

著者 (4件)： Li Yingge (College of Electromechanical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China) ,  Ma Lianxiang (College of Electromechanical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China) ,  Zhang Dian (College of Automation and Electrical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China) ,  Liu Ximei (College of Automation and Electrical Engineering, Qingdao University of Science & Technology, Qingdao, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CAC  ページ： 6717-6720  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有限要素法シミュレーションは基板上の弾性表面波の伝搬の物理を理解するために,デバイス構造の設計を最適化するための表面音響波センサに関して行った。,0°Cの150~°Cの範囲における環境温度変化に,窒化アルミニウム圧電薄膜の厚さ変化に対する周波数応答を徹底的に調べた。シミュレーションの結果は,固有振動数は温度の上昇と共に直線的に減少し,温度センサとして設計されたSAWデバイスの応用の可能性を指摘している。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 弾性表面波素子 ,  素子構造 ,  弾性表面波 ,  温度変動 ,  最適化 ,  周波数応答 ,  固有振動数 ,  *センサ ,  *温度センサ ,  *窒化アルミニウム
準シソーラス用語： ピエゾフィルム ,  *FEMシミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (6件)： Al ,  AlN ,  Si ,  SAW ,  温度センサ ,  FEMシミュレーション