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J-GLOBAL ID:201802276634158343   整理番号:18A0446696

Si FinFETを用いたモノリシック3次元集積MX_2FETのベンチマーキング【Powered by NICT】

Benchmarking of monolithic 3D integrated MX2 FETs with Si FinFETs
著者 (9件):
資料名:
巻: 2017  号: IEDM  ページ: 5.7.1-5.7.4  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文では,単層遷移金属二カルコゲン化物(MX2)FETは性能指数と物理的コンパクトモデルとしてエネルギー遅延を用いたSi FinFETを用いたベンチマークした。モデルは,異なる材料の原子論的シミュレーションと実験データの両方を用いて検証し,いかなるフィッティングパラメータを使用することはない。単一ゲート(SG)モードと二重ゲート(DG)MX2FETはオン電流,素子容量と遅延の観点から比較した。DG MX2FETが支配的ワイヤ負荷の場合の同じエネルギー消費に対するSG MX2FETよりも25~30%速く実行される。WS2DG FETを選択MX2材料間のより良いエネルギーと速度の両方を示した。しかし,FinFETと比較して,WS2DG FETは~35%遅いが,より多くのエネルギー効率的であることを示した。MX2FETを用いたFinFETの性能に適合するように,モノリシック3D集積MX2SGとDG FETを探索した。は3~5積層WS2DG FETはN3FinFET性能を満たすために必要であることを示した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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