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J-GLOBAL ID:201802277521957602   整理番号:18A0444990

ミクロン分解能寸法測定のための電子センサ【Powered by NICT】

Electronic sensors for micron resolution dimension measurement
著者 (3件):
資料名:
巻: 2017  号: ICEECCOT  ページ: 359-367  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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ミクロン分解能を持つ寸法測定は部品加工産業における必須要件である。年にわたりいくつかの方法は,このタスクを達成するために確立し,採用した。電子センサの出現により,ミクロンの分解能で多くの電子センサは,従来の方法より多くの利点を持った次元を測定するために用いることができる。本研究論文の目的は,ミクロン分解能寸法計測のための種々の電子センサの動作原理を説明した。本論文ではまた,それらの精度,直線性,分解能,精度,範囲など重要なパラメータに基づいてこれらの電子センサをレビューした。比較は,ミクロン分解能寸法測定システムのすべての必要な要求を満足する最も適切な電子センサに到達するために導いた。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (2件):
分類
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流体の実験・試験・測定方法及び装置  ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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