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J-GLOBAL ID：201802278494736474   整理番号：18A0164010

新規3自由度並列micro/nano位置決めステージ大旅行の設計とモデル化【Powered by NICT】

Design and modeling of a novel 3-DOF large-travel parallel micro/nano-positioning stage

著者 (2件)： Zhang Xiaozhi (Department of Electromechanical Engineering, Faculty of Science and Technology, University of Macau, Avenida da Universidade, Taipa, Macau, China) ,  Xu Qingsong (Department of Electromechanical Engineering, Faculty of Science and Technology, University of Macau, Avenida da Universidade, Taipa, Macau, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IECON  ページ： 2840-2845  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 限られた移動はXYZ平行micro/nano位置決めステージの広く応用を制約する。本論文では,新しい運動micro/nano位置決めステージを移動範囲を拡大することを目的として提案した。ステージを作動させる大きな入力変位を得るために,ボイスコイルモータ(VCM)を採用した。大きな移動並列段階では,クロス-軸運動は,閉ループ制御プロセスの困難さを増加した。,I形曲げヒンジを用いて,並列段階の運動を分離した。VCMの低い出力力の観点から,導波曲げ機構は140mm×44mmの最適化断面寸法を用いて設計した。ステージの性能を検証するために,分析的モデル化およびシミュレーション研究を行った。結果は,提案した大きな移動平行micro/nano位置決めステージは,3.527mmの3自由度運動範囲,176mm×176mm×198mmの過大,と無視できる単離率は0.0034%であることが分かった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： フィードバック制御 ,  ヒンジ ,  *自由度 ,  シミュレーション ,  最適化 ,  *旅行 ,  単離 ,  *位置決め ,  *モデリング
準シソーラス用語： ボイスコイルモータ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 電動機  (NB07030U) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  サーボ機構  (IC03030Q) ,  電気式制御機器  (IC02020Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 3自由度 ,  ステージ ,  旅行 ,  設計 ,  モデル化