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J-GLOBAL ID:201802278971291372   整理番号:18A0181879

Friction and Tribochemical Wear Behaviors of Native Oxide Layer on Silicon at Nanoscale

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巻: 65  号:ページ: 139,1-8  発行年: 2017年12月 
JST資料番号: W1933A  ISSN: 1023-8883  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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