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J-GLOBAL ID：201802279460175339   整理番号：18A2043967

仮想的に全ポストエッチ残さを洗浄するために適応可能なカスタマイズされた化学組成【JST・京大機械翻訳】

Customized Chemical Compositions Adaptable for Cleaning Virtually all Post-Etch Residues

著者 (7件)： Cazes M. (Technic France; 15 rue de la Montjoie, La plaine St Denis, F93212, France) ,  Pizzetti Christian (Technic France; 15 rue de la Montjoie, La plaine St Denis, F93212, France) ,  Daviot Jerome (Technic France; 15 rue de la Montjoie, La plaine St Denis, F93212, France) ,  Garnier Philippe (ST Microelectronics Crolles2; 850 Rue Jean Monnet, Crolles, 38926, France) ,  Broussous Lucile (STMicroelectronics; 860 Rue Jean Monnet, Crolles, 38926, France) ,  Gabette Laurence (LETI, CEA; MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, 38054, France) ,  Besson Pascal (CEA, LETI; MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, Grenoble, F38054, France)
資料名： Solid State Phenomena  (Solid State Phenomena)
巻： 282  ページ： 121-125  発行年： 2018年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フッ化水素酸の攻撃性をその良く知られた残留物除去特性とバランスさせることに基づく,エッチング後の残留物洗浄処方を紹介した。高k誘電ベース残留物によって提供される洗浄チャレンジによって動機付けられた一連の研究において,金属と誘電相溶性を維持しながら,酸化タンタルと類似材料のプラズマパターン形成から生じる残留物を成功裏に明らかにする定式化プラットフォームを開発した。さらに,この溶液の基本的な利点は,ブランケット膜の測定とSEMデータによって示されるように,相溶性を犠牲にすることなく,他のより伝統的なエッチング後の残留物の洗浄に拡張できることを示した。Copyright 2018 Trans Tech Publications Ltd. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *化学組成 ,  相溶性 ,  定式化 ,  ブランケット ,  酸化タンタル ,  パターン形成 ,  *カスタム化 ,  プラズマ ,  エッチング
準シソーラス用語： フッ化水素酸 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (11件)： 相互接続 ,  TAN ,  ポストエッチ残渣 ,  アルミニウム ,  選択的洗浄 ,  高K ,  HfOx ,  Zrox ,  TAOX ,  CAP MIM ,  選択的非晶質酸化物除去

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 仮想 ,  エッチ ,  残さ ,  洗浄 ,  適応 ,  カスタマイズ ,  化学組成