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J-GLOBAL ID:201802282985486345   整理番号:18A0442992

低温結合相互接続のための異なる金属基板上の銅ナノ粒子ペースト【Powered by NICT】

Copper nanoparticle paste on different metallic substrates for low temperature bonded interconnection
著者 (4件):
資料名:
巻: 2017  号: EPTC  ページ: 1-4  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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すず基鉛フリーはんだは,エレクトロニクス産業で一般的に使用されるにもかかわらず,新材料は金属ナノ粒子などの優れた特性を調べている。本研究では,金属成分と金属化基材の間の接合材料として最近開発された銅ナノ粒子ペースト(ナノCu)を評価した。銅ナノ粒子のサイズはエレクトロニクスデバイスに適合する低温で起こることが結合可能にした。CuまたはAuのような異なる金属化表面を持つ結合成分と基板の電気的および機械的性質を研究した。Au表面で達成できる良好な結合がCu表面では,酸前処理は自然酸化物によるnanoCuペーストとCu表面の間の結合強度を改善するために必要である。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】
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分類 (1件):
分類
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固体デバイス製造技術一般 
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