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J-GLOBAL ID：201802282986204183   整理番号：18A1242019

高Q値を有するシリコンオンインシュレータにおけるエバネセント結合矩形微小共振器:実験的特性評価【JST・京大機械翻訳】

Evanescently Coupled Rectangular Microresonators in Silicon-on-Insulator with High Q-Values: Experimental Characterization

著者 (3件)： Mendez-Astudillo Manuel (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Okayama Hideaki (Research & Development Center, Oki Electric Industry Co., Ltd., Warabi, Saitama 335-8510, Japan) ,  Nakajima Hirochika (Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan)
資料名： Photonics (Web)  (Photonics (Web))
巻： 4  号： 2  ページ： 34  発行年： 2017年 
JST資料番号： U7260A  ISSN： 2304-6732  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： アドドロップフィルタ構成におけるシリコン-オン-絶縁体において,20×10μm2までの寸法をもつエバネセント結合矩形マイクロ共振器について報告した。デバイスの幾何学的パラメータの影響を実験的に特性化し,13,000の高Q値を,ドロップポートにおける多モード光共振特性と同様に実証した。また,素子をTM偏光で動作させ,8ポート配置を用いて素子の完全対称性を決定するとき,ポート間の95%のエネルギー移動を示し,ドロップ導波路をそのサイドの任意に配置することを可能にし,光信号のフィルタと経路を提供した。FDTD法を用いて,素子と電子ビームリソグラフィおよびドライエッチング技術を解析した。Copyright 2018 The Author(s) All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多モード ,  フィルタ ,  ドライエッチング ,  絶縁体 ,  *Q値 ,  *キャラクタリゼーション ,  有限差分時間領域法 ,  偏光 ,  光信号 ,  導波路 ,  ポート ,  エネルギー移動 ,  *微小共振器 ,  電子ビームリソグラフィー
準シソーラス用語： アドドロップフィルタ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： 矩形微小共振器 ,  シリコンオンインシュレータ ,  フォトニックデバイス

分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

引用文献 (35件)：

• Manolatou, C.; Khan, M.; Fan, S.; Villeneuve, P.R.; Haus, H.A.; Joannopoulos, J.D. Coupling of modes analysis of resonant channel add-drop filters. IEEE J. Quantum Electron. 1999, 35, 1322-1331.
• Mendez-Astudillo, M.; Takahisa, H.; Fujiwara, K.; Okayama, H.; Nakajima, H. Multimode rectangular optical microcavity for biomarker detection based on silicon on insulator. In Proceedings of the Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO), San Jose, CA, USA, 5-10 June 2016.
• Bogaerts, W.; De Heyn, P.; Van Vaerenbergh, T.; De Vos, K.; Selvaraja, S.K.; Claes, T.; Dumon, P.; Bienstman, P.; van Thourhout, D.; Baets, R. Silicon microring resonators. Laser Photonics Rev. 2012, 6, 47-73.
• Yan, S.; Li, M.; Luo, L.; Ma, K.; Xue, C.; Zhang, W. Optimisation Design of Coupling Region Based on SOI Micro-Ring Resonator. Micromachines 2014, 6, 151-159.
• Wang, C.; Burek, M.; Lin, Z.; Atikian, H.; Venkataraman, V.; Huang, I.-C.; Stark, P.; Lončar, M. Integrated high quality factor lithium niobate microdisk resonators. Opt. Express 2014, 22, 30924-30933.

タイトルに関連する用語 (6件)： Q値 ,  シリコンオンインシュレータ ,  矩形 ,  微小共振器 ,  実験 ,  特性評価