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J-GLOBAL ID：201802283240697641   整理番号：18A0944283

MEMSにおける機械的モード結合によるエネルギー損失に及ぼす製造欠陥の影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of fabrication imperfections on energy loss through mechanical mode coupling in MEMS

著者 (2件)： Vatanparvar Daryosh (MicroSystems Laboratory, Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA) ,  Shkel Andrei M. (MicroSystems Laboratory, Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, Irvine, CA, USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2018  号： INERTIAL  ページ： 1-2  発行年： 2018年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ジャイロスコープのようなMEMS共振器の品質因子を制限する主要なエネルギー損失機構として機械的モード結合を同定した。モード間エネルギー交換の現象に及ぼす製造不完全性の影響を定量化するための解析モデルを導いた。有限要素解析と解析モデリングの両方を用いて,製作不完全性を有する共振器の面内モードと面外モードの間の機械的結合を研究し,モード結合による品質因子の減少を予測した。解析は,いくつかの低周波設計が基本的なTED限界に近い品質因子を示す理由を説明するために使用された。一方,他は,それらのTED限界よりも大きさの桁の大きさをもつ品質因子を示している。解析的予測は実験的に支持された。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： モデリング ,  エネルギー移動 ,  ジャイロスコープ ,  *MEMS ,  不整 ,  解析モデル ,  予測 ,  *エネルギー損失 ,  LF【周波数】 ,  *モード結合 ,  共振器
準シソーラス用語： 有限要素解析 ,  品質因子 ,  MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  モード結合 ,  エネルギー損失 ,  欠陥