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J-GLOBAL ID：201802283452113745   整理番号：18A0840577

XRD-非晶質TiO_2薄膜の室温堆積:温度の関数としてのデバイス性能の研究【JST・京大機械翻訳】

Room temperature deposition of XRD-amorphous TiO₂ thin films: Investigation of device performance as a function of temperature

著者 (6件)： Grilli Maria Luisa (ENEA-Italian National Agency for New Technologies, Energy and Sustainable Economic Development, Energy Technology Department, Casaccia Research Centre, Via Anguillarese 301, 00123 Roma, Italy) ,  Yilmaz Mehmet (Department of Science Teaching, Faculty of K. K. Education, Atatuerk University, 25240 Erzurum, Turkey) ,  Yilmaz Mehmet (Advanced Materials Research Laboratory, Department of Nanoscience and Nanoengineering, Graduate School of Natural and Applied Sciences, Ataturk University, 25240 Erzurum, Turkey) ,  Aydogan Sakir (Advanced Materials Research Laboratory, Department of Nanoscience and Nanoengineering, Graduate School of Natural and Applied Sciences, Ataturk University, 25240 Erzurum, Turkey) ,  Aydogan Sakir (Department of Elect. & Elect. Engn., Faculty of Engineering, Ardahan University, 75000 Ardahan, Turkey) ,  Cirak Burcu Bozkurt (Department of Alternative Energy Sources, Vocational High School, Erzincan University, 24000 Erzincan, Turkey)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 44  号： 10  ページ： 11582-11590  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,TiO_2薄膜を,6から出発する純粋なAr雰囲気中で室温で高周波スパッタリングにより作製した。TiO_2ターゲット。膜の厚さを蒸着時間によって制御し,TiO_2薄膜の特性に及ぼすArスパッタリング圧力の影響を評価した。TiO_2膜の表面形態と光学特性を,X線回折(XRD),原子間力顕微鏡(AFM),走査電子顕微鏡(SEM),およびUV-Vis分光光度法を用いて研究した。また,膜の屈折率と消光係数を分光光度データのフィッティングにより推定した。Schottkyダイオードを,TiO_2膜上のNiの蒸発によって製造した。Ni/TiO_2膜の電流-電圧(I-V)測定は,素子の整流特性がTiO_2膜密度と厚さの増加により改善されることを示した。従って,素子の最良のI-V特性を温度に依存して調べた。また,Ni/n-TiO_2/p-Si/Alデバイスを作製し,それらの輸送機構を理解した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 屈折率 ,  *X線回折 ,  光学的性質 ,  RFスパッタリング ,  アルゴン ,  Schottky障壁ダイオード ,  ニッケル ,  整流 ,  *薄膜 ,  光度 ,  電流電圧特性 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： 消光係数 ,  紫外可視分光光度法 ,  表面形態 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： TiO_2 ,  フィルム ,  電気的性質

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： XRD ,  非晶質 ,  薄膜 ,  室温 ,  堆積 ,  温度の関数 ,  研究