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J-GLOBAL ID：201802284869854316   整理番号：18A0481414

非晶質炭素被覆層のプラズマ増強化学蒸着におけるプロセスモニタリングツールとしての発光分光法-多変量統計モデル化【Powered by NICT】

Optical emission spectroscopy as a process-monitoring tool in plasma enhanced chemical vapor deposition of amorphous carbon coatings - multivariate statistical modelling

著者 (12件)： Anooshehpour Farid (Laboratory for Biomaterials and Bioengineering, Canada Research Chair Tier I in Biomaterials and Bioengineering for the Innovation in Surgery, Department of Mining, Metallurgy and Materials Engineering, CHU de Quebec Research Center, Universite Laval, 1065 Medicine ...) ,  Anooshehpour Farid (Laboratoire d’Ingenierie de Surface, Centre de Recherche sur les Materiaux Avances, Departement de genie des mines, de la metallurgie et des materiaux, Universite Laval, 1045 avenue de la Medecine, Quebec, G1V 0A6 Quebec, Canada) ,  Anooshehpour Farid (Centre de recherche du CHU de Quebec, Hopital St-Francois d’Assise, 10 rue de l’Espinay, Quebec, G1L 3L5, Quebec, Canada.) ,  Turgeon Stephane (Laboratory for Biomaterials and Bioengineering, Canada Research Chair Tier I in Biomaterials and Bioengineering for the Innovation in Surgery, Department of Mining, Metallurgy and Materials Engineering, CHU de Quebec Research Center, Universite Laval, 1065 Medicine ...) ,  Turgeon Stephane (Laboratoire d’Ingenierie de Surface, Centre de Recherche sur les Materiaux Avances, Departement de genie des mines, de la metallurgie et des materiaux, Universite Laval, 1045 avenue de la Medecine, Quebec, G1V 0A6 Quebec, Canada) ,  Turgeon Stephane (Centre de recherche du CHU de Quebec, Hopital St-Francois d’Assise, 10 rue de l’Espinay, Quebec, G1L 3L5, Quebec, Canada.) ,  Cloutier Maxime (Laboratory for Biomaterials and Bioengineering, Canada Research Chair Tier I in Biomaterials and Bioengineering for the Innovation in Surgery, Department of Mining, Metallurgy and Materials Engineering, CHU de Quebec Research Center, Universite Laval, 1065 Medicine ...) ,  Cloutier Maxime (Centre de recherche du CHU de Quebec, Hopital St-Francois d’Assise, 10 rue de l’Espinay, Quebec, G1L 3L5, Quebec, Canada.) ,  Mantovani Diego (Laboratory for Biomaterials and Bioengineering, Canada Research Chair Tier I in Biomaterials and Bioengineering for the Innovation in Surgery, Department of Mining, Metallurgy and Materials Engineering, CHU de Quebec Research Center, Universite Laval, 1065 Medicine ...) ,  Mantovani Diego (Centre de recherche du CHU de Quebec, Hopital St-Francois d’Assise, 10 rue de l’Espinay, Quebec, G1L 3L5, Quebec, Canada.) ,  Laroche Gaetan (Laboratoire d’Ingenierie de Surface, Centre de Recherche sur les Materiaux Avances, Departement de genie des mines, de la metallurgie et des materiaux, Universite Laval, 1045 avenue de la Medecine, Quebec, G1V 0A6 Quebec, Canada) ,  Laroche Gaetan (Centre de recherche du CHU de Quebec, Hopital St-Francois d’Assise, 10 rue de l’Espinay, Quebec, G1L 3L5, Quebec, Canada.)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 649  ページ： 106-114  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ増強化学蒸着を用いたダイヤモンド状炭素(DLC)被覆の生成は,プラズマ診断法としての発光分光法(OES)によって研究した。現在の研究の目的は,多変量解析法を用いたDLC特性の予測モデルを確立することである。このモデルは,プロセスパラメータ,反応器依存の代わりにOESデータに基づいており,従って,プラズマ蒸着プロセスに及ぼすそれらの影響を一つの反応器から他へ変化する可能性がある。OESの予測可能性を,部分最小二乗回帰(PLSR)分析を用いて評価した。結果は,OES導出データはDLC特性を予測するためのいくつかのプロセスパラメータを置換できることを示した。構造的傾斜DLC被覆の開発とモニタリングのためのPLSRモデリングとOES応用の展望についても考察した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 多変量解析 ,  プラズマ診断 ,  *プラズマCVD ,  モデリング ,  反応器 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  予測可能性 ,  プロセスパラメータ ,  *被覆 ,  *被覆層 ,  予測モデル ,  *発光分光法
準シソーラス用語： DLC被覆 ,  *多変量 ,  *アモルファスカーボン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ダイヤモンド状被覆 ,  プラズマ特性化 ,  表面キャラクタリゼーション ,  部分最小二乗回帰

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非晶質炭素 ,  被覆層 ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  発光分光法 ,  多変量 ,  統計モデル