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J-GLOBAL ID：201802285387375899   整理番号：18A1592984

低圧測定のためのRoodビームピエゾ抵抗圧力センサと組み合わせたannular溝付き膜の設計,製作および特性評価【JST・京大機械翻訳】

Design, fabrication and characterization of an annularly grooved membrane combined with rood beam piezoresistive pressure sensor for low pressure measurements

著者 (7件)： Li Chuang (UPM Laser Centre, Universidad Politecnica de Madrid, C/ Alan Turing 1, 28031 Madrid, Spain) ,  Li Chuang (Suzhou Changfeng Avionics Co., Ltd, Suzhou 215151, PR China) ,  Xie Jianbing (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710072, PR China) ,  Cordovilla Francisco (UPM Laser Centre, Universidad Politecnica de Madrid, C/ Alan Turing 1, 28031 Madrid, Spain) ,  Zhou Jinqiu (Key Laboratory of Micro/Nano Systems for Aerospace, Ministry of Education, Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710072, PR China) ,  Jagdheesh R. (UPM Laser Centre, Universidad Politecnica de Madrid, C/ Alan Turing 1, 28031 Madrid, Spain) ,  Ocana Jose L. (UPM Laser Centre, Universidad Politecnica de Madrid, C/ Alan Turing 1, 28031 Madrid, Spain)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 279  ページ： 525-536  発行年： 2018年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ロードビームと結合した環状溝付き膜を有する新しい構造ピエゾ抵抗圧力センサを低圧測定用に設計した。高濃度応力プロファイル(HCSP)と部分的に補強した膜(PSM)を敏感領域に導入することにより,歪エネルギーはリブ構造に集中し,膜の中心でオーバーサイズ偏向を回避し,センサの感度と直線性を効果的に改善した。高感度膜の構造設計と幾何学最適化を有限要素法(FEM)によっても研究し,センサチップが高感度と小圧力非線形性(PNL)を達成するのを助けた。最後に,環状溝付き膜とロッド状梁を有するセンサの製作について報告した。実験結果は,センサが室温で0~1psiの動作範囲において30.9mV/V/psiの感度と0.25%FSSの圧力非線形性を得たことを示した。このような結果は,この新しい構造センサが1psi以下の絶対微小圧力の測定に適用できることを示している。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 歪エネルギー ,  偏向 ,  非線形性 ,  有限要素法 ,  *圧力測定 ,  線形性 ,  MEMS ,  *低圧 ,  *キャラクタリゼーション ,  *圧力センサ ,  最適化 ,  構造設計 ,  高感度 ,  *センサ
準シソーラス用語： *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： MEMS圧抵抗圧力センサ ,  高濃度応力プロファイル ,  部分的に補強した膜 ,  感度 ,  圧力非線形性

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 圧測定 ,  ビーム ,  ピエゾ抵抗 ,  圧力センサ ,  溝付き ,  設計 ,  製作 ,  特性評価