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J-GLOBAL ID：201802285583722169   整理番号：18A2034594

極端紫外線フェムト秒パルスによる非晶質シリカガラスの深穴穴あけ【JST・京大機械翻訳】

Deep-hole drilling of amorphous silica glass by extreme ultraviolet femtosecond pulses

著者 (14件)： Shibuya Tatsunori (Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan) ,  Takahashi Takashi (Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Sakaue Kazuyuki (Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Dinh Thanh-Hung (Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST), 8-1-7 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-02 15, Japan) ,  Hara Hiroyuki (Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering and Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University, 7-1-2 Yoto, Utsunomiya, Tochigi 321-8585, Japan) ,  Higashiguchi Takeshi (Department of Electrical and Electronic Engineering, Faculty of Engineering and Center for Optical Research and Education (CORE), Utsunomiya University, 7-1-2 Yoto, Utsunomiya, Tochigi 321-8585, Japan) ,  Ishino Masahiko (Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST), 8-1-7 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-02 15, Japan) ,  Koshiba Yuya (Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Nishikino Masaharu (Kansai Photon Science Institute, National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology (QST), 8-1-7 Umemidai, Kizugawa, Kyoto 619-02 15, Japan) ,  Ogawa Hiroshi (Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan) ,  Tanaka Masahito (Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan) ,  Washio Masakazu (Research Institute for Science and Engineering, Waseda University, 3-4-1 Okubo, Shinjuku, Tokyo 169-8555, Japan) ,  Kobayashi Yohei (AIST-UTokyo Advanced Operando-Measurement Technology Open Innovation Laboratory (OPERANDO-OIL), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 5-1-5 Kashiwanoha, Kashiwa, Chiba 277-8589, Japan) ,  Kuroda Ryunosuke (Research Institute for Measurement and Analytical Instrumentation (RIMA), National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-1-1 Umezono, Tsukuba 305-8568, Japan)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 113  号： 17  ページ： 171902-171902-4  発行年： 2018年 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 自由電子レーザ(FEL)は,強X線と物質の相互作用を研究するためのロバストなツールである。本研究では,FELの極端紫外フェムト秒パルスにより照射した溶融シリカの損傷閾値と形態を調べた。実験結果は,FEL処理の優位性を示した。13.5nmの波長での溶融シリカのFEL損傷閾値は0.17J/cm2であり,近赤外(NIR)フェムト秒レーザのそれより20倍低い。クレータ深さとレーザフルエンスの間の関係は,有効吸収長がα_eff~-1=58nmであることを明らかにした。損傷閾値と吸収長さは滑らかなクレータ形成の重要な値である。加えて,通常,NIRレーザ加工において重要な問題であるリム構造と微小亀裂の形成は,相互作用領域では見られない。孔径は出口でビームサイズ以下に維持される。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 自由電子レーザ ,  微小亀裂 ,  クレータ ,  フェムト秒レーザ ,  *穴あけ ,  X線 ,  石英ガラス ,  相互作用 ,  波長 ,  ロバスト性 ,  *極端紫外線 ,  近赤外線
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  *非晶質シリカ ,  *フェムト秒パルス , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 極端紫外線 ,  フェムト秒パルス ,  非晶質シリカ ,  ガラス ,  深穴 ,  穴あけ