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J-GLOBAL ID：201802286109237562   整理番号：18A1768116

金属ドープITO層を有する高効率緑色InGaN発光ダイオードの作製と特性評価【JST・京大機械翻訳】

Fabrication and Characterization of High-Efficiency Green InGaN Light-Emitting Diodes With Metal-Doped ITO Layer

著者 (5件)： Wen Rulian (Engineering Research Center for Optoelectronics of Guangdong Province, School of Physics and Optoelectronics, South China University of Technology, Guangzhou, China) ,  Hu Xiaolong (Engineering Research Center for Optoelectronics of Guangdong Province, School of Physics and Optoelectronics, South China University of Technology, Guangzhou, China) ,  Zhou Quanbin (Engineering Research Center for Optoelectronics of Guangdong Province, School of Electronics and Information Engineering, South China University of Technology, Guangzhou, China) ,  Chen Ditao (Engineering Research Center for Optoelectronics of Guangdong Province, School of Electronics and Information Engineering, South China University of Technology, Guangzhou, China) ,  Wang Hong (Engineering Research Center for Optoelectronics of Guangdong Province, School of Electronics and Information Engineering, South China University of Technology, Guangzhou, China)
資料名： IEEE Transactions on Electron Devices  (IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 65  号： 10  ページ： 4334-4339  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0222A  ISSN： 0018-9383  CODEN： IETDAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の金属ドープ酸化インジウムスズ(ITO)透明接触層を用いて,緑色InGaN発光ダイオード(LED)の効率を改善する方法を調べた。異なる金属厚さと異なる急速熱アニーリング条件を持つ金属ドープITOの抵抗と透過率を研究し,系統的に解析した。ITO層の消光係数と表面粗さは,600°Cで3分間,N_2/O_2(200:35)雰囲気の混合物中で適切な金属とアニーリングをドーピングすることによって明らかに減少することが分かった。さらに,金属ドープITOを用いることにより,シート抵抗を減少させ,より均一な電流分布を提供することが有用である。80nmのITO層を有する従来の緑色LEDと比較して,3nmのAlドープITO層を有する緑色LEDに対して,光出力の18.9%の増加と120mAの順方向電圧の1.5Vの減少があった。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *発光ダイオード ,  焼なまし ,  電圧 ,  アルミニウム ,  電流分布 ,  *ドーピング ,  透過率 ,  *キャラクタリゼーション ,  RTA【熱処理】 ,  シート抵抗 ,  酸化インジウムスズ
準シソーラス用語： *InGaN ,  光出力 ,  緑色LED ,  消光係数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 発光素子  (NC03082G)

タイトルに関連する用語 (8件)： ドープ ,  ITO層 ,  高効率 ,  緑色 ,  InGaN ,  発光ダイオード ,  作製 ,  特性評価