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J-GLOBAL ID：201802286530547608   整理番号：18A1621740

走査電子顕微鏡内の自動化ナノマニピュレーションに向けたシステム較正【JST・京大機械翻訳】

System Calibration Towards Automated Nanomanipulation Inside Scanning Electron Microscope

著者 (6件)： Wang Mingyu (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative ¥Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, Suzhou, 215123, China) ,  Wang Yaqiong (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative ¥Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, Suzhou, 215123, China) ,  Yang Zhan (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative ¥Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, Suzhou, 215123, China) ,  Chen Tao (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative ¥Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, Suzhou, 215123, China) ,  Sun Lining (Jiangsu Provincial Key Labratory of Advanced Robotics & Collaborative ¥Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Soochow University, Suzhou, 215123, China) ,  Fukuda Toshio (Department of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya University, Nagoya, 464-8603, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： CYBER  ページ： 1135-1140  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,走査電子顕微鏡(SEM)内部のナノロボットマニピュレータの較正を提示した。反復運動は,あらかじめ決められた位置に到達するために頻繁にラッピングされ,SEM内部の自動化されたナノ粒子化を実現するために,ナノ装置とシステムの誤差を分析しなければならない。SEM画像フィードバックに基づく一連の実験を行い,エンドエフェクタは2つの軸の関係を特徴付けることができた。原子間力顕微鏡(AFM)片持ち梁を,安定速度下でXまたはY軸に沿って直線的に移動するナノロボットマニプレータの頂部に組み立てた。SEMビデオストリームを通して,画像処理法を用いて,ナノ粒子の誤差とエンコーダの熱ドリフトを分析した。ナノ粒子の動きは良好な線形性を示し,プラットフォームと画像座標の間の誤差を検出した。x方向の勾配は1.7°以下であり,y方向の勾配は0.8°以下であった。ナノ粒子は,ドリフト誤差が260nmに蓄積されるまで,それ自身のトラックを修正した。Copyright 2018 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 符号器 ,  フィードバック ,  ドリフト ,  画像処理 ,  ラッピング ,  片持梁 ,  *走査電子顕微鏡 ,  マニピュレータ ,  *自動化 ,  ナノ粒子 ,  原子間力顕微鏡 ,  画像
準シソーラス用語： ビデオストリーム ,  ナノロボット ,  *マニピュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： 走査電子顕微鏡 ,  自動化 ,  マニピュレーション ,  較正