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J-GLOBAL ID：201802286891587660   整理番号：18A0551650

多価イオン照射した多層カーボンナノチューブのポテンシャル効果

Potential Effect of Multi-Walled Carbon Nanotube Irradiated with Highly Charged Ions

著者 (11件)： 西田尚史 (神戸大学理学研究科) ,  櫻井誠 (神戸大学理学研究科) ,  別宮晃治 (神戸大学理学研究科) ,  鈴木健太 (神戸大学理学研究科) ,  山内亜香音 (神戸大学理学研究科) ,  加藤雅基 (兵庫県立大学工学研究科) ,  藤原侑也 (兵庫県立大学工学研究科) ,  本多信一 (兵庫県立大学工学研究科) ,  寺澤倫孝 (兵庫県立大学工学研究科) ,  LEE Kuei-Yi (国立台湾科技大学電子工学科) ,  照井通文 (情報通信研究機構未来ICT研究センター)
資料名： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
巻： 61  号： 3  ページ： 162-165(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： G0194B  ISSN： 2433-5835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子ビームイオン源(EBIS)にて生成した多価イオン(HCI)の照射前後での多層カーボンナノチューブ(MWCN)の構造変化を評価した。HCIと表面との相互作用の結果,多くの電子やイオンが放出され,nm範囲を超えた表面層の構造が変化する。構造変化の評価方法として透過型電子顕微鏡(TEM)を利用した。MWCNTは化学気相成長法(CVD)にて作製した。Ar¹⁴⁺で照射したMWCNTのTEM像は,6×10¹³ions/cm²の照射量において不均一な表面を示す。この種の構造変化は,Ar⁺や電子の照射の場合には見られず,したがって,不均一な表面はHCIのポテンシャルエネルギーが原因で,MWCNTの表面でポテンシャルスパッタリングが起こると考えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *多価イオン ,  *多層カーボンナノチューブ ,  変化 ,  *表面構造 ,  透過型電子顕微鏡 ,  化学蒸着 ,  アルゴン ,  ポテンシャルエネルギー ,  スパッタリング ,  イオン照射 ,  電子照射
準シソーラス用語： 構造変化 ,  化学気相成長法 ,  電子ビーム照射

著者キーワード (8件)： highly charged ion ,  carbon nanotube ,  potential sputtering ,  electron beam ion source ,  highly charged ion ,  carbon nanotube ,  potential sputtering ,  electron beam ion source

分類 (2件)： 電子ビーム,イオンビーム  (BD02030F) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

引用文献 (7件)：

• 1) M. Tona, S. Takahashi, H. Watanabe, N. Yoshiyasu, N. Nakamura, C. Yamada, M. Sakurai, T. Terui, A. Mashiko and S. Ohtani : Surf. Sci. 601, 723 (2007).
• 2) F. Aumayr and H.P. Winter : Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 233, 111 (2005).
• 3) A.V. Krasheninnikov and K. Nordlund : J. Appl. Phys. 107, 071301 (2010).
• 4) M. Sakurai, F. Nakajama, T. Fukumoto, N. Nakamura, S. Ohtani and S. Mashiko : Shinku 48, 317 (2005).
• 5) M. Sakurai, H.A. Sakaue, H. Watanabe, N. Nakamura, S. Ohtani, Y. Kawase, K. Mitsumori, T. Terui and S. Mashiko : Shinku 50, 390 (2007).

タイトルに関連する用語 (3件)： 多価イオン ,  多層カーボンナノチューブ ,  ポテンシャル