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J-GLOBAL ID：201802288650715466   整理番号：18A0656460

マイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法による単層TiCN膜および多層TiCN膜の機械的特性の評価に関する研究 -表面から深さ方向のエロージョン率の変化-

Study on Evaluation of the Mechanical Property in TiCN Single-layer and Multi-layer Coatings by a Micro Slurry-jet Erosion (MSE) Method -Variation of the Erosion Rates as a Function of Depth from the Surface-

著者 (5件)： 南条吉保 (フジタ技研株式会社) ,  岡崎健一 (フジタ技研株式会社) ,  千徳英介 (福井工業高等専門学校) ,  峠正範 (福井大学) ,  岩井善郎 (福井大学)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 84  号： 2  ページ： 167-174(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・市販のTiCN皮膜は,一般に,その性能を向上させるために種々な多層構造から構成されており,TiCN多層皮膜の機械的性質を測定する技術を開発する必要がある。本研究では,著者らが開発したマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)試験を適用して,TiCN単層と多層皮膜の特性を評価した。種々のC含有量のTiCN単層と多層の皮膜の試料を,陰極アーク法により高速度鋼基板上に堆積した。堆積中のNTH₂とCH₄O₄の流量を制御することによって,表面に向かって段階的に増加するC含有量で,TiCN多層皮膜を作製した。MSE試験は,試料表面に垂直な1.2μmアルミナ粒子を含むスラリージェットに衝突させて実施し,エロージョン表面の摩耗深さ変動を測定し,最終的に測定データから摩耗速度を計算した。本研究の最も重要な発見:TiCN単層皮膜の場合,硬度の上昇によりC含有量が増加するに伴い,摩耗速度が著しく低下した;TiCN多層皮膜の場合,表面からの深さの関数として,摩耗速度の変化は類似しているが,変化するC含有量のTiCN単層皮膜の測定データに基づいて予測段階的変化よりも緩やかであった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *エロージョン腐食 ,  スラリー ,  *機械的性質 ,  浸食 ,  摩耗試験 ,  *チタン化合物 ,  *炭化物 ,  *窒化物 ,  *多層膜 ,  *皮膜 ,  イオンめっき ,  微細構造 ,  X線分光分析 ,  電子回折 ,  深さ ,  ナノ粒子 ,  *高速度鋼 ,  摩耗 ,  押込硬さ
準シソーラス用語： アークイオンプレーティング ,  アルミナ粒子 ,  インデンテーション ,  スラリーエロージョン ,  炭素含有量 ,  *炭窒化チタン ,  投射量 ,  摩耗深さ

著者キーワード (12件)： MSE ,  マイクロスラリージェット侵食 ,  TiCN被覆 ,  Ti-C-N ,  陰極アーク ,  多層コーティング ,  MSE ,  マイクロスラリージェット侵食 ,  TiCN被覆 ,  Ti-C-N ,  陰極アーク ,  多層コーティング

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (15件)：

• 1) S.Veprek, M.J.G.Veprek-Heijman: Industrial applications of superhard nanocomposite coatings, Surf. Coat. Technol., 202 (2008) 5063.
• 2) L.Karlsson, L.Hultman, M.P.Johansson, J.-E.Sundgren, H.Ljungcrantz: Growth, microstructure, and mechanical properties of arc evaporated TiC_xN_1-x (0 ≤ x ≤ 1) films, Surf. Coat. Technol., 126 (2000) 1.
• 3) E.Bemporad, C.Pecchio, S.De Rossi, F.Carassiti: Characterization and hardness modeling of alternate TIN/TICN multilayer cathodic arc PVD coating on tool steel, Surf. Coat. Technol., 146 (2001) 363.
• 4) S.J.Bull: Modelling the hardness response of bulk materials, single and multilayer coatings, Surf. Coat. Technol., 398 (2001) 291.
• 5) Y.Iwai, T.Honda, H.Yamada, T.Matsubara, M.Larsson, S.Hogmark: Evaluation of wear resistance of thin hard coatings by a new solid particle impact test, Wear, 251 (2001) 861.

タイトルに関連する用語 (8件)： 法 ,  単層 ,  多層 ,  機械的特性 ,  評価 ,  研究 ,  深さ方向 ,  エロージョン