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J-GLOBAL ID：201802288915907668   整理番号：18A0969217

ナノリソグラフィーのための極端紫外線源の増強のためのレーザおよびプラズマ放射エネルギーのリサイクル【JST・京大機械翻訳】

Recycling of laser and plasma radiation energy for enhancement of extreme ultraviolet sources for nanolithography

著者 (4件)： Sizyuk V. (Center for Materials under Extreme Environment (CMUXE), School of Nuclear Engineering Purdue University, West Lafayette, Indiana 47907, USA) ,  Sizyuk T. (Center for Materials under Extreme Environment (CMUXE), School of Nuclear Engineering Purdue University, West Lafayette, Indiana 47907, USA) ,  Hassanein A. (Center for Materials under Extreme Environment (CMUXE), School of Nuclear Engineering Purdue University, West Lafayette, Indiana 47907, USA) ,  Johnson K. (KJ Innovation, 2502 Robertson Rd., Santa Clara, California 95051, USA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 123  号： 1  ページ： 013302-013302-11  発行年： 2018年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ生成プラズマ(LPP)とレーザ/ターゲット相互作用の詳細なシミュレーションのための包括的な統合モデルを開発した。これにより,脱出レーザとバンド外プラズマ放射の潜在的なリサイクルが可能になった。リサイクル,すなわち,反射鏡を用いた極端紫外(EUV)発生領域への脱出レーザとプラズマ放射を戻すことは,シミュレーションによりEUV変換効率(CE)を60%まで増加させる可能性を有する。これにより,電力消費が大幅に減少し,EUV出力が増加した。著者らの最近開発されたモデルに基づいて,一般的不均一ターゲットシステム(HEIGHTS)計算機シミュレーションパッケージとの高エネルギー相互作用を,種々の放射線リサイクルレジームを含み,潜在的なCE増強を推定するために,LPPデバイス用にアップグレードした。改良HEIGHTSを用いて,レーザとプラズマ発生放射の両方のリサイクルを研究し,スズターゲットの液滴を用いたときの無リサイクルLPPデバイスと比較して,変換効率の可能な利得を予測した。単一のCO2レーザ,単一Nd:YAGレーザ,および両方のレーザシステムを組み合わせたデュアルパルス装置を含むLPPシステムの3つのバージョンを検討した。EUVエネルギー発生の利得を予測し,これらの系について比較した。全体として,レーザと放射エネルギーのリサイクルは,デュアルパルスシステムに対して60%までのソース効率の著しい増強の可能性を示した。有意に高いCE利得が,プレパルスおよび主パルスパラメータとソースサイズの最適化により可能になる可能性がある。(翻訳著者抄録)【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 炭酸ガスレーザ ,  プラズマ生成 ,  反射鏡 ,  *極端紫外線 ,  相互作用 ,  *リサイクル ,  利得 ,  レーザプラズマ ,  *放射エネルギー ,  *レーザ ,  レーザシステム ,  Nd-YAGレーザ ,  計算機シミュレーション
準シソーラス用語： 変換効率 ,  *プラズマ放射 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  プラズマ一般  (BJ02010B) ,  プラズマ生成・加熱  (BJ02060E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノリソグラフィー ,  極端紫外線 ,  増強 ,  レーザ ,  プラズマ ,  放射エネルギー ,  リサイクル