文献
J-GLOBAL ID：201802289242728830
整理番号：18A0110561
Asymmetric metal-insulator-metal (MIM) structure formed by pulsed Nd:YAG laser deposition with titanium nitride (TiN) and aluminum nitride (AlN)
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著者 (1件)：
資料名：
巻：
10356
ページ：
103560B.1-103560B.16
発行年：
2017年
JST資料番号：
D0943A
ISSN：
0277-786X
CODEN：
PSISDG
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
言語：
英語 (EN)
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