低電力消費ガスセンサ用のSnO<sub>2</sub>ナノ粒子とマイクロホットプラットフォームとの統合

PENG Shufeng; XIE Dongcheng; WANG Jin; CHEN Minqiang; XU Lei

文献

J-GLOBAL ID：201802290623756755 整理番号：18A2174490

低電力消費ガスセンサ用のSnO₂ナノ粒子とマイクロホットプラットフォームとの統合

Integration of SnO₂ Nanoparticles with Micro-hotplatform for Low-power-consumption Gas Sensors

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資料名：
巻： 30 号： 11 (3) ページ： 2679-2692 発行年： 2018年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

MEMS技術により作製された懸架型マイクロホットプラットフォーム(MHP)を用いて,低消費電力のガスセンサを製作した。水熱法により合成した酸化スズナノ粒子を,スラリーの形でディップコーティングによりMHP上に堆積した。得られたSEM画像は,ナノ粒子が良く結合し,サイズが均一であることを示した。ガス検知性能も動的および静的試験システムで調べた。動的試験システムにおいて,センサの応答((R_air/R_gas)は,14.42mWの電力で水素との代表的線形関係を示し,5~100ppm水素で1.17~4.51に変化した。静的試験システムにおいて,センサはエタノール,アンモニア,およびグリコールに対して明らかな応答を示し;120ppmの濃度でのアンモニアの標的ガスに対する応答は23.94に達した。このセンサの電力消費は,255°Cで白金(Pt)加熱抵抗器を用いてわずか16mWであった。(翻訳著者抄録)

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分析機器

引用文献 (33件)：

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