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J-GLOBAL ID:201802291659400061   整理番号:18A1619945

UV垂直発光デバイス用の透明で導電性の(-201)配向β-Ga_2O_3基板上に成長させたGaN/AlGaN多重量子井戸【JST・京大機械翻訳】

GaN/AlGaN multiple quantum wells grown on transparent and conductive (-201)-oriented β-Ga2O3 substrate for UV vertical light emitting devices
著者 (14件):
資料名:
巻: 113  号:ページ: 082102-082102-5  発行年: 2018年 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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GaN/AlGaN多重量子井戸(MQW)を201配向β-Ga_2O_3基板上に成長させた。MQW構造の光学的および構造的特性をサファイア上に成長させた類似構造のそれらと比較した。走査透過型電子顕微鏡と原子間力顕微鏡画像は,サファイア上に成長させた類似の構造と比較して,MQW構造が明確な量子井戸のより高い結晶品質を示すことを示した。X線回折ロッキング曲線と光ルミネセンス励起分析により,β-Ga_2O_3基板上に成長させた試料における転位欠陥の密度が低いことを確認した。時間積分と時間分解光ルミネセンス測定の詳細な解析は,β-Ga_2O_3基板上に成長したMQWが,より高い光学的品質であることを示した。著者らの研究は,201配向β-Ga_2O_3基板がUV垂直発光素子の潜在的候補であることを示した。Copyright 2018 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (2件):
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半導体のルミネセンス  ,  半導体薄膜 

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