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J-GLOBAL ID：201802291811045399   整理番号：18A0253239

Multi-beam mask writer MBM-1000

著者 (4件)： MATSUMOTO Hiroshi (NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN) ,  YAMASHITA Hiroshi (NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN) ,  TAMURA Takao (NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN) ,  OHTOSHI Kenji (NuFlare Technol., Inc., Kanagawa, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10446  ページ： 1044607.1-1044607.5  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)