特許
J-GLOBAL ID：201803000046494585
物体視野を像視野内に結像するための結像光学ユニット及びそのような結像光学ユニットを含む投影露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
田中 伸一郎
, 弟子丸 健
, ▲吉▼田 和彦
, 大塚 文昭
, 西島 孝喜
, 須田 洋之
, 上杉 浩
, 近藤 直樹
, 那須 威夫
, 鎌田 慎也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-543437
公開番号（公開出願番号）：特表2018-534639
出願日： 2016年11月07日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：
投影リソグラフィのための結像光学ユニット(7)は、結像光(3)を物体視野(4)から像視野(8)内に誘導するための複数のミラー(M1から8)を有する。物体視野(4)は、具体的に第1の大きめの物体視野寸法に沿う及び第2の小さめの物体視野寸法に沿う2つの物体視野座標(x,y)によって張られる。結像光学ユニット(7)は、少なくとも2つのGIミラー(M2,M3,M5,M6)と、結像光ビーム経路内で2つのGIミラー(M3,M5)間に配置された少なくとも1つのNIミラー(M4)とを有する。NIミラー(M4)の使用反射面は、第1の反射面座標(x)に沿う面寸法と、第2の物体視野寸法と平行な第2の反射座標(y)に沿う面寸法との間にアスペクト比(x/y)を有し、このアスペクト比は4.5よりも小さい。生産コストが低減した結像光学ユニットが出現する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
投影リソグラフィのための結像光学ユニット(7;21;22;23;24)であって、
結像光(3)を結像光ビーム経路に沿って物体平面(5)の物体視野(4)から像平面(9)の像視野(8)内に誘導するための複数のミラー(M1からM8)、を含み、
前記物体視野(4)は、
大きめの第1の物体視野寸法に沿う第1の直交物体視野座標(x)と、
前記第1の物体視野寸法よりも小さい第2の物体視野寸法に沿う第2の直交物体視野座標(y)と、
によって張られ、
前記結像光学ユニット(7;21;22;23;24)が、少なくとも2つのGIミラー(M2,M3,M5,M6)を有し、
前記結像光学ユニット(7;21;22;23;24)が、前記結像光ビーム経路内の2つのGIミラー(M3,M5)間に配置された少なくとも1つのNIミラー(M4)を有し、
前記NIミラー(M4)の使用反射面が、
第1の反射面座標(x)に沿う面寸法と、前記第2の物体視野寸法と平行な第2の反射面座標(y)に沿う面寸法と、
の間に4.5よりも小さいアスペクト比(x/y)を有する、
結像光学ユニット(7;21;22;23;24)。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G03F7/20 501
, G03F7/20 521
, G02B17/06
2H087LA01
, 2H087LA27
, 2H087NA04
, 2H087TA00
, 2H087TA02
, 2H087TA06
, 2H197AA06
, 2H197BA03
, 2H197CA01
, 2H197CA03
, 2H197CA06
, 2H197CA07
, 2H197CA10
, 2H197CC02
, 2H197CC16
, 2H197GA01
, 2H197GA05
, 2H197GA06
, 2H197HA03
出願人引用 (1件)
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縮小オブジェクティブ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-150260
出願人：カール-ツアイス-スチフツング
審査官引用 (1件)
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縮小オブジェクティブ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-150260
出願人：カール-ツアイス-スチフツング
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