特許

J-GLOBAL ID：201803000299195886

研削装置

発明者： 中塚 敦
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 特許業務法人東京アルパ特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-124333
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228680
出願日： 2016年06月23日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：

【課題】ワークの下面洗浄時に、洗浄部材に洗浄水が充分に行き渡るようにする。【解決手段】円形板状ワークWの上面Waを保持し研削手段31によって研削されたワークWをチャックテーブル2から搬出する手段5と、ワークWの下面Wbを洗浄する手段6とを備え、洗浄手段6は、搬出手段5が保持するワークWの下面Wbに対して垂直な軸心を備える回転軸60と、回転軸60を回転させる手段61と、回転軸60の回転にともない円形板状ワークの周方向に沿って移動してワークWを洗浄する部材64と、洗浄部材64を収容するケース63と、回転手段61によって洗浄部材64を回転させる洗浄動作によりワークWが回転することを防止する手段68と、少なくともケース63に洗浄水を供給する手段69とを備え、ケース63に供給された洗浄水を含む洗浄部材64がワークWの下面Wbの外周部を洗浄する研削装置1である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

円形板状ワークを吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された円形板状ワークを研削加工する研削手段と、円形板状ワークの上面を保持し該研削手段によって研削された円形板状ワークを該チャックテーブルから搬出する搬出手段と、円形板状ワークの下面を洗浄する洗浄手段と、を備える研削装置において、 該洗浄手段は、該搬出手段が保持する円形板状ワークの下面に対して垂直な軸心を備える回転軸と、該回転軸を回転させる回転手段と、該回転軸の回転にともない円形板状ワークの周方向に沿って移動して円形板状ワークを洗浄する洗浄部材と、該洗浄部材を収容するケースと、該洗浄部材を円形板状ワークに当接させ該回転手段によって該洗浄部材を回転させる洗浄動作によって円形板状ワークが回転することを防止するための回転防止手段と、少なくとも該ケースに洗浄水を供給する洗浄水供給手段とを備え、 該洗浄水供給手段から該ケースに供給された洗浄水を含んだ該洗浄部材が円形板状ワークの下面の外周部を洗浄する研削装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  B24B 7/00 ,  B24B 41/06

FI (4件)：

H01L21/304 622Q ,  B24B7/00 A ,  B24B41/06 L ,  H01L21/304 631

Fターム (15件)：

3C034AA08 ,  3C034BB72 ,  3C034BB75 ,  3C034BB84 ,  3C034DD20 ,  3C043BA09 ,  3C043BA16 ,  3C043BA17 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  5F057AA21 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA11 ,  5F057DA38

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-236873   出願人：株式会社ディスコ
• 研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-091884   出願人：株式会社ディスコ
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-071910   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 研削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-163032   出願人：株式会社ディスコ