ガルバノスキャナ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：正林真之 , 芝哲央 , 星野寛明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-176890
公開番号（公開出願番号）：特開2018-041044
出願日： 2016年09月09日
公開日（公表日）： 2018年03月15日
要約：

【課題】良好な溶接品質が容易に得られるウィービング溶接を実行可能なガルバノスキャナを提供すること。【解決手段】回転軸X1,X2まわりに回転可能に構成され、レーザ光Lを反射する2つのガルバノミラー51,52と、ガルバノミラー51,52を回転駆動するガルバノモータ54,54と、ガルバノミラー51,52に入射するレーザ光Lが厚みT方向に入射するように配置され、回転軸20まわりに回転可能に構成されるとともに周囲と異なる屈折率を有する光学部品2と、光学部品2を回転駆動する回転モータ4と、を備え、光学部品2は、厚みT方向の断面Cにおける入射辺21と出射辺22が互いに平行であるとともに、入射するレーザ光Lの光軸L1に対して入射辺21が傾斜するように配置され、且つ、その厚みTが回転方向に沿って連続的に変化するガルバノスキャナ50である。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

レーザ光を走査するガルバノスキャナであって、回転軸まわりに回転可能に構成され、レーザ光を反射する1つ以上のガルバノミラーと、前記ガルバノミラーを回転駆動するガルバノモータと、前記ガルバノミラーに入射するレーザ光が厚み方向に入射するように配置され、回転軸まわりに回転可能に構成されるとともに周囲と異なる屈折率を有する光学部品と、前記光学部品を回転駆動する回転モータと、を備え、前記光学部品は、厚み方向の断面における入射側の辺と出射側の辺が互いに平行であるとともに、入射する前記レーザ光の光軸に対して前記入射側の辺が傾斜するように配置され、且つ、その厚みが回転方向に沿って連続的に変化するガルバノスキャナ。

IPC (2件)：

G02B 26/10 , B23K 26/082

FI (2件)：

G02B26/10 104Z , B23K26/082

Fターム (7件)：

2H045AB03 , 2H045AB43 , 4E168BA00 , 4E168CB04 , 4E168EA15 , 4E168EA24 , 4E168GA03

引用特許：

審査官引用 (5件)

レーザ光によるガラス基板加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-156570 出願人：三星ダイヤモンド工業株式会社
レーザ加工光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-035711 出願人：日本電気株式会社
レーザ加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-380523 出願人：日立ビアメカニクス株式会社

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