特許
J-GLOBAL ID:201803000609687270
照明装置及び照明光生成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 篤
, 三橋 真二
, 南山 知広
, 三浦 剛
, 河野 努
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2017005002
公開番号(公開出願番号):WO2017-138655
出願日: 2017年02月10日
公開日(公表日): 2017年08月17日
要約:
照明装置11は、ガウス状のビームプロファイルを持ち、かつ互いに直交する第1の偏光成分及び第2の偏光成分を含む偏光を発する光源1と、光軸OAを中心とする円周方向に沿って、所定のステップ量ごとに増加する位相変調量を、透過する光源1からの偏光のうちの第1の偏光成分に与えてその第1の偏光成分のビームプロファイルをラゲールガウス状のビームプロファイルとし、かつ、透過する光源1からの偏光のうちの第2の偏光成分とラゲールガウス状のビームプロファイルを持つ第1の偏光成分とが合成されたトップハット状のビームプロファイルを持つ合成ビームを形成するらせん位相素子4とを有する。
請求項(抜粋):
ガウス状のビームプロファイルを持ち、かつ互いに直交する第1の偏光成分と第2の偏光成分とを含む偏光を発する光源と、
光軸を中心とする円周方向に沿って、所定のステップ量ごとに増加する位相変調量を、透過する前記偏光のうちの前記第1の偏光成分に与えて前記第1の偏光成分のビームプロファイルをラゲールガウス状のビームプロファイルとし、かつ、透過する前記偏光のうちの前記第2の偏光成分とラゲールガウス状のビームプロファイルを持つ前記第1の偏光成分とが合成されたトップハット状のビームプロファイルを持つ合成ビームを形成するらせん位相素子と、
を有する照明装置。
IPC (4件):
G02B 27/09
, G02F 1/13
, G02B 21/06
, G01N 21/01
FI (4件):
G02B27/09
, G02F1/13 505
, G02B21/06
, G01N21/01 D
Fターム (20件):
2G059AA05
, 2G059EE02
, 2G059EE07
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059HH02
, 2G059JJ15
, 2G059JJ18
, 2H052AA08
, 2H052AC04
, 2H052AC11
, 2H052AC34
, 2H088EA47
, 2H088HA02
, 2H088HA03
, 2H088HA18
, 2H088HA21
, 2H088HA28
, 2H088JA11
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