特許
J-GLOBAL ID:201803000609687270

照明装置及び照明光生成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 青木 篤 ,  三橋 真二 ,  南山 知広 ,  三浦 剛 ,  河野 努
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2017005002
公開番号(公開出願番号):WO2017-138655
出願日: 2017年02月10日
公開日(公表日): 2017年08月17日
要約:
照明装置11は、ガウス状のビームプロファイルを持ち、かつ互いに直交する第1の偏光成分及び第2の偏光成分を含む偏光を発する光源1と、光軸OAを中心とする円周方向に沿って、所定のステップ量ごとに増加する位相変調量を、透過する光源1からの偏光のうちの第1の偏光成分に与えてその第1の偏光成分のビームプロファイルをラゲールガウス状のビームプロファイルとし、かつ、透過する光源1からの偏光のうちの第2の偏光成分とラゲールガウス状のビームプロファイルを持つ第1の偏光成分とが合成されたトップハット状のビームプロファイルを持つ合成ビームを形成するらせん位相素子4とを有する。
請求項(抜粋):
ガウス状のビームプロファイルを持ち、かつ互いに直交する第1の偏光成分と第2の偏光成分とを含む偏光を発する光源と、 光軸を中心とする円周方向に沿って、所定のステップ量ごとに増加する位相変調量を、透過する前記偏光のうちの前記第1の偏光成分に与えて前記第1の偏光成分のビームプロファイルをラゲールガウス状のビームプロファイルとし、かつ、透過する前記偏光のうちの前記第2の偏光成分とラゲールガウス状のビームプロファイルを持つ前記第1の偏光成分とが合成されたトップハット状のビームプロファイルを持つ合成ビームを形成するらせん位相素子と、 を有する照明装置。
IPC (4件):
G02B 27/09 ,  G02F 1/13 ,  G02B 21/06 ,  G01N 21/01
FI (4件):
G02B27/09 ,  G02F1/13 505 ,  G02B21/06 ,  G01N21/01 D
Fターム (20件):
2G059AA05 ,  2G059EE02 ,  2G059EE07 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ18 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC11 ,  2H052AC34 ,  2H088EA47 ,  2H088HA02 ,  2H088HA03 ,  2H088HA18 ,  2H088HA21 ,  2H088HA28 ,  2H088JA11

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