特許
J-GLOBAL ID：201803000612261895

多重波長を用いた3次元形状の測定装置及び測定方法

発明者：
金 ▲民▼ 永

金 ▲民▼ 永 について


出願人/特許権者：
コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド

コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-003274
公開番号（公開出願番号）：特開2018-077251
出願日： 2018年01月12日
公開日（公表日）： 2018年05月17日
要約：
【課題】多重波長を用いた3次元形状の測定装置及び測定方法を提供する。【解決手段】多重波長を用いた3次元形状の測定装置は、検査対象物1を測定位置に移送させる移送ステージ10と、検査対象物に対して第1等価波長を有する第1パターン光を第1方向に照射する第1プロジェクター20と、検査対象物に対して第1等価波長と波長が異なる第2等価波長を有する第2パターン光を第2方向に照射する第2プロジェクター30と、移送ステージの検査対象物から反射される第1パターン光による第1パターンイメージと第2パターン光による第2パターンイメージとを撮影するカメラ部40と、第1プロジェクター20と第2プロジェクター30とを制御し、第1パターンイメージと第2パターンイメージとがカメラ部40で撮影されると、第1パターンイメージ及び第2パターンイメージを受信して検査対象物の3次元形状を算出する制御部50と、を含むことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検査対象物を測定位置に移送させる移送ステージと、 前記検査対象物に対して第1等価波長を有する第1パターン光を第1方向に照射する第1プロジェクターと、 前記検査対象物に対して前記第1等価波長と波長が異なる第2等価波長を有する第2パターン光を第2方向に照射する第2プロジェクターと、 前記移送ステージの前記検査対象物から反射される前記第1パターン光による第1パターンイメージと前記第2パターン光による第2パターンイメージとを撮影するカメラ部と、 前記第1プロジェクターと前記第2プロジェクターとを制御し、前記第1パターンイメージと前記第2パターンイメージとが前記カメラ部で撮影されると、前記第1パターンイメージ及び前記第2パターンイメージを受信して前記検査対象物の3次元形状を算出する制御部と、を含み、 前記制御部は、 前記第1パターンイメージ及び前記第2パターンイメージから第1位相及び第2位相をそれぞれ取得し、 前記第1位相と前記第2位相との相対的な値を用いて第3位相を算出し、 算出された前記第3位相から予測高さを取得し、前記予測高さ、前記第1位相及び前記第1等価波長を用いて前記第1位相の第1次数を算出し(前記第1次数は整数)、 算出された前記第3位相から予測高さを取得し、前記予測高さ、前記第2位相及び前記第2等価波長を用いて前記第2位相の第2次数を算出し(前記第2次数は整数)、 前記第1位相と前記第1次数を用いて最大測定高さが増加された前記第1方向による第1高さ情報を算出し且つ前記第2位相と前記第2次数を用いて最大測定高さが増加された前記第2方向による第2高さ情報を算出し、 前記第1次数及び前記第2次数と、前記第1高さ情報及び前記第2高さ情報とを用いて前記検査対象物の統合された高さ情報を前記検査対象物の各点について算出し、前記統合された高さ情報から前記検査対象物の3次元形状を取得する ことを特徴とする3次元形状の測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/25
FI (1件)：
G01B11/25 H
Fターム (10件)：
2F065AA53 ,  2F065FF06 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065MM03 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05
引用特許：
審査官引用 (3件)

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