基板検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小林脩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-234940
公開番号（公開出願番号）：特開2015-095586
特許番号：特許第6301635号
出願日： 2013年11月13日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板搬送方向の上流側の部品装着装置、および下流側の基板検査装置を含む基板生産ラインにおいて、前記部品装着装置による部品実装工程で部品供給装置から供給された電子部品を部品移載装置の吸着ノズルで吸着し基板上の装着位置まで搬送して装着した基板を検査対象として、前記基板検査装置による基板検査工程で検査を行う基板検査方法であって、前記部品実装工程で前記電子部品の落下を監視し、前記落下を検知したときに当該の基板を異物検査対象基板に設定して、前記電子部品の装着を継続する検査基板設定ステップと、前記基板検査装置により前記異物検査対象基板について異物の有無の検査を行う検査実施ステップと、を有する基板検査方法。

IPC (2件)：