特許
J-GLOBAL ID：201803000758799943
塗布ヘッド及び塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 義信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-200764
公開番号（公開出願番号）：特開2018-069230
出願日： 2017年10月17日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
要約：
【課題】スピンコータがもっている高精度の薄膜な円形塗布膜の形成という長所は維持しつつ、スピンコータが抱える問題を解決できる塗布ヘッド及び塗布装置を提供する。【解決手段】供給された塗布液を塗布幅方向に拡流する液溜り部54と、液溜り部54に連続形成されたスリット状の開口を有する線状ノズル28とを少なくとも備え、線状ノズル28から塗布液を吐出することにより円形基板12の表面に円形塗膜を形成するスリットコート法の塗布ヘッド10において、線状ノズル28から吐出する塗布液の塗布幅を可変する塗布幅可変機構44を設けた。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
供給された塗布液を塗布幅方向に拡流する液溜り部と、前記液溜り部に連続形成されたスリット状の開口を有する線状ノズルとを備えた、前記線状ノズルから前記塗布液を吐出することにより被塗布基板の表面に塗膜を形成するスリットコート法の塗布ヘッドにおいて、
前記線状ノズルから吐出する塗布液の塗布幅を可変する塗布幅可変機構を設けたことを特徴とする塗布ヘッド。
IPC (4件)：
B05C 5/02
, B05C 13/02
, B05C 11/00
, B05C 11/10
B05C5/02
, B05C13/02
, B05C11/00
, B05C11/10
4F041AA02
, 4F041AA06
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA12
, 4F041BA22
, 4F041BA36
, 4F041CA03
, 4F041CA16
, 4F042AA07
, 4F042BA04
, 4F042BA07
, 4F042BA08
, 4F042BA12
, 4F042BA25
, 4F042BA27
, 4F042CB02
, 4F042DF05
, 4F042DF24
, 4F042DF34
, 4F042DH09
