特許
J-GLOBAL ID：201803000830477883
荷電粒子フィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
田中 伸一郎
, 弟子丸 健
, ▲吉▼田 和彦
, 松下 満
, 倉澤 伊知郎
, 山本 泰史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-520489
公開番号（公開出願番号）：特表2018-532238
出願日： 2016年09月02日
公開日（公表日）： 2018年11月01日
要約：
荷電粒子フィルタは、磁気デフレクタの試料端から検出器端までの磁気デフレクタを通過する孔(220)の軸に沿った孔(220)を有する磁気デフレクタを含み、使用時にその孔を通って荷電粒子が通過し、磁気デフレクタは、孔の周囲に位置付けられた2つの磁石(250、260)から形成され、2つの磁石間に間隙(270)を有し、2つの磁石は各々、直線中央区分(280、281)及び2つの端(285、286、295、296)を有し、各端が曲面または斜面(285、286、295、296で)を形成し、曲面は、いくつかの実施形態では、2つの磁石間の間隙の1/10〜10倍の範囲内の高さと、間隙の1/10〜10倍の範囲内の幅とによって規定されたアスペクト比を有する。【選択図】図2B
請求項（抜粋）：
磁気デフレクタを備える荷電粒子フィルタであって、
前記磁気デフレクタが、前記磁気デフレクタの試料端から検出器端まで前記磁気デフレクタを通過する軸に沿う孔を有し、使用時に荷電粒子が前記孔を通過し、
前記磁気デフレクタが、前記孔の周囲に位置付けられた2つの磁石から形成され、前記2つの磁石間に間隙を有し、
前記2つの磁石が各々、直線中央区分及び2つの端部を有し、各端部が曲面を形成し、
前記曲面が、前記2つの磁石間の前記間隙の1/10〜10倍の範囲内の高さと、前記間隙の1/10〜10倍の範囲内の幅と、によって規定されたアスペクト比を有する、荷電粒子フィルタ。
IPC (2件)：
H01J 37/244
, H01J 37/252
H01J37/244
, H01J37/252 A
5C033NN02
, 5C033NN04
, 5C033NP06
, 5C033NP08
, 5C033PP04
, 5C033UU10
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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