特許
J-GLOBAL ID：201803000836968943
真空処理装置およびその運転方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-123218
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228626
出願日： 2016年06月22日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】生産効率の高い真空処理装置を提供する。【解決手段】第1、第2及び第3真空搬送容器(104、110、112)と、第1及び第2中間室(111、113)と、真空処理容器(130、131)と、第2真空搬送容器110に不活性ガスを導入するガス供給経路124と、第1及び第3真空搬送容器(104、112)の内部を排気する排気経路123と、複数のゲートバルブと、第2真空搬送容器に連結された真空処理容器131での処理圧力の値が第1及び第3真空搬送容器に連結された真空処理容器130での処理圧力より高く且つ第1乃至第3真空搬送容器内の圧力より低く制御する制御部とを備えた真空処理装置とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ロードロック室と、
前記ロードロック室に接続され、減圧された内部の搬送室内を処理対象のウエハが搬送され、前記ロードロック室から近い順に配置された第1真空搬送容器と、第2真空搬送容器と、第3真空搬送容器とを含む複数の真空搬送容器と、
前記第1真空搬送容器と前記第2真空搬送容器との間に配置された第1中間室と、前記第2真空搬送容器と前記第3真空搬送容器との間に配置された第2中間室とを含み、前記複数の真空搬送容器の間で各々を連結して配置され前記複数の真空搬送容器の間で前記ウエハが内部に収納されて受け渡される複数の中間室と、
前記複数の真空搬送容器の側壁面に各々連結され、減圧された内部に搬送された前記ウエハが処理される処理室を含む複数の真空処理容器と、
前記第2真空搬送容器に連結され内部に不活性ガスを導入するガス供給経路と、
前記第1真空搬送容器及び前記第3真空搬送容器に連結され、各々の内部からガスを排気する複数の排気経路と、
前記複数の真空搬送容器の内部の各々の搬送室と、前記複数の真空搬送容器の各々に連結された前記複数の真空処理容器の内部の各々の処理室との間の連通を開閉する複数のゲートバルブと、
前記第2真空搬送容器に連結された真空処理容器の処理室内で前記ウエハが処理される圧力の値が前記第1真空搬送容器及び前記第3真空搬送容器に各々連結された真空処理容器の処理室内で前記ウエハが処理される圧力より高くなるように且つ前記第1真空搬送容器乃至前記第3真空搬送容器の何れの搬送室内の圧力より低くなるように制御する制御部と、を備えたことを特徴とする真空処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 Z
, H01L21/68 A
5F131AA02
, 5F131BA15
, 5F131BA19
, 5F131BB03
, 5F131BB11
, 5F131CA12
, 5F131CA32
, 5F131DB52
, 5F131DB57
, 5F131DB62
, 5F131DB72
, 5F131DB76
, 5F131DB82
, 5F131EA03
, 5F131GA03
, 5F131HA12
, 5F131HA28
, 5F131JA08
, 5F131JA09
, 5F131JA12
, 5F131JA23
, 5F131JA24
, 5F131JA34
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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