特許
J-GLOBAL ID:201803000848525117
イメージング装置及びイメージング方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
, 堀切 康平
, 吉田 安子
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2017010785
公開番号(公開出願番号):WO2017-159821
出願日: 2017年03月16日
公開日(公表日): 2017年09月21日
要約:
より高画質な画像を得ることができるイメージング装置及びイメージング方法を提供する。ビーム生成部(11)は、レーザ光から第1、第2プローブビームを生成する。第1、第2プローブビームは、それぞれ互いにビート周波数が異なる複数の干渉光からなる。ビーム照射部(12)は、第1、第2プローブビームを副走査方向に離して照射する。微小流路(55)内を試料(G)が移動することで、試料(G)に対する第1、第2プローブビームの照射位置がずれて副走査が行われる。第1、第2プローブビームのそれぞれの照射で得られる試料(G)の画像を重ねて観察画像を生成する。
請求項(抜粋):
複数の周波数成分を空間的に配列した複数のプローブビームを生成するビーム生成部と、
複数の前記プローブビームのそれぞれについて、前記周波数成分を主走査方向に沿ってライン状に配列するとともに、複数の前記プローブビームを互いに主走査方向と異なる副走査方向に隣接または離して試料に照射するビーム照射部と、
複数の前記プローブビームの照射位置と前記試料とを副走査方向に相対的に移動する副走査部と、
前記プローブビームを前記試料に照射することで生じた信号光の強度を検出して検出信号を出力する光検出部と、
前記検出信号の前記周波数成分ごとの信号成分から前記試料の観察画像を生成する信号処理部と
を備えることを特徴とするイメージング装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (40件):
2G043AA01
, 2G043AA03
, 2G043CA04
, 2G043EA01
, 2G043EA13
, 2G043EA14
, 2G043FA01
, 2G043FA02
, 2G043GA02
, 2G043GA07
, 2G043GB01
, 2G043GB19
, 2G043GB28
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA05
, 2G043HA06
, 2G043HA07
, 2G043HA09
, 2G043HA15
, 2G043JA02
, 2G043JA03
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA07
, 2G043KA08
, 2G043KA09
, 2G043LA01
, 2G043LA02
, 2G043MA01
, 2G043MA04
, 2G043NA01
, 2G043NA04
, 2G043NA05
, 2G043NA06
, 2H052AB30
, 2H052AC15
, 2H052AC34
, 2H052AE13
, 2H052AF14
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