特許
J-GLOBAL ID：201803001088324120
分光器
出願人/特許権者：
浜松ホトニクス株式会社
浜松ホトニクス株式会社 について
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 , 黒木 義樹 , 柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-077029
公開番号（公開出願番号）：特開2018-109652
出願日： 2018年04月12日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：
【課題】検出精度の低下を抑制しつつ小型化を図ることができる分光器を提供する。【解決手段】分光器は、半導体材料からなる基板、基板に設けられた光通過部、及び基板に作り込まれた光検出部を有する光検出素子と、光検出素子と対向するベース壁部、及び、ベース壁部と一体的に形成された側壁部を有し、光検出部に電気的に接続された配線が設けられた支持体と、ベース壁部における空間側の表面に設けられた分光部と、を備える。光検出素子の少なくとも一部と側壁部の端面の少なくとも一部とは、ベース壁部の厚さ方向から見た場合に、互いに重なっている。光検出素子は、ベース壁部における空間側の表面と対向するように側壁部に固定されている。配線の第1端部は、側壁部に設けられ、光検出素子の端子に電気的に接続されている。配線の第2端部は、支持体における空間側とは反対側の表面に位置している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体材料からなる基板、前記基板に設けられた光通過部、及び前記基板に作り込まれた光検出部を有する光検出素子と、
前記光通過部及び前記光検出部との間に空間を介して前記光検出素子と対向するベース壁部、及び、前記ベース壁部と一体的に形成され、前記光検出素子が固定された側壁部を有し、前記光検出部に電気的に接続された配線が設けられた支持体と、
前記ベース壁部における前記空間側の表面に設けられ、前記空間において、前記光通過部を通過した光を前記光検出部に対して分光すると共に反射する分光部と、を備え、
前記光検出素子の少なくとも一部と前記側壁部の端面の少なくとも一部とは、前記ベース壁部の厚さ方向から見た場合に、互いに重なっており、
前記光検出素子は、前記ベース壁部における前記空間側の前記表面と対向するように前記側壁部に固定されており、
前記配線における前記光検出部側の第1端部は、前記側壁部に設けられ、前記光検出素子に設けられた端子に電気的に接続されており、
前記配線における前記光検出部側とは反対側の第2端部は、前記支持体における前記空間側とは反対側の表面に位置している、分光器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
引用特許：
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