特許
J-GLOBAL ID：201803001185653538

原子層堆積による多層耐プラズマ性コーティング

発明者：
シャオウェイ ウー

シャオウェイ ウー について

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デイビッド フェンウィック

デイビッド フェンウィック について

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ジェニファー ワイ サン

ジェニファー ワイ サン について

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グオドン ツァン

グオドン ツァン について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 安齋 嘉章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-000888
公開番号（公開出願番号）：特開2018-150617
出願日： 2018年01月06日
公開日（公表日）： 2018年09月27日
要約：
【課題】コーティングされたチャンバコンポーネント、及び多層耐プラズマ性コーティングを有するチャンバコンポーネントをコーティングする方法の提供。【解決手段】原子層堆積(ALD)プロセスを用いて耐プラズマ性コーティングがチャンバコンポーネントの表面上に堆積された物品であって、耐プラズマ性コーティングは、約10nm〜約1.5μmの厚さを有する応力緩和層と、応力緩和層を覆っている約10nm〜約1.5μmの厚さの希土類金属含有酸化物層とを含み、希土類金属含有酸化物層は、Y2O3-ZrO2の固溶体を含み、構造(例えば、約3:1〜約300:1のアスペクト比を有するようなもの)を均一に覆う層とを有するコーティングされた物品。【選択図】図3A
請求項（抜粋）：
物品であって、 約3:1〜約300:1のアスペクト比を有する部分と、 物品の前記部分の表面上の耐プラズマ性コーティングであって、耐プラズマ性コーティングは、 約10nm〜約1.5μmの厚さを有する応力緩和層と、 約10nm〜約1.5μmの厚さを有し、応力緩和層を覆っている希土類金属含有酸化物層とを含む耐プラズマ性コーティングとを含み、耐プラズマ性コーティングは、前記部分を均一に覆い、最高350°Cの温度で割れ及び層間剥離に対して耐性があり、空孔が無い物品。
IPC (4件)：
C23C 16/40 ,  C23C 16/44 ,  C23C 4/11 ,  C23C 26/00
FI (4件)：
C23C16/40 ,  C23C16/44 B ,  C23C4/11 ,  C23C26/00 C
Fターム (46件)：
4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030BA43 ,  4K030BA59 ,  4K030BB03 ,  4K030BB12 ,  4K030CA02 ,  4K030CA11 ,  4K030DA09 ,  4K030EA04 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030JA01 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030KA08 ,  4K030KA12 ,  4K030KA30 ,  4K030KA47 ,  4K031AA08 ,  4K031AB03 ,  4K031AB04 ,  4K031AB05 ,  4K031AB09 ,  4K031CB42 ,  4K031DA04 ,  4K044AA06 ,  4K044AB02 ,  4K044BA12 ,  4K044BB03 ,  4K044BB04 ,  4K044BB05 ,  4K044BB06 ,  4K044BC02 ,  4K044CA11 ,  4K044CA13 ,  5F058BA08 ,  5F058BA20 ,  5F058BC03 ,  5F058BD02 ,  5F058BD05 ,  5F058BE03 ,  5F058BF02 ,  5F058BF22 ,  5F058BF29 ,  5F058BJ10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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