単一画像検出

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-545132
公開番号（公開出願番号）：特表2018-533748
出願日： 2016年11月17日
公開日（公表日）： 2018年11月15日
要約：

標本上の欠陥を検出する方法及びシステムを提供する。あるシステムは生成モデルを有する。その生成モデルは、入力フィーチャマップボリュームを構成する画素ブロックをラベルにマッピングするよう構成された非線形ネットワークを有する。それらラベルはそれらブロックの一通り又は複数通りの欠陥関連特性を示すものである。本システムでは単一のテスト画像がその生成モデルに入力され、その生成システムにより、当該単一のテスト画像内の画素ブロックに備わるフィーチャが判別され、マッピング結果に基づきそのブロックに係るラベルが判別される。本システムでは、判別されたラベルに基づき標本上の欠陥が検出される。

請求項（抜粋）：

標本上の欠陥を検出するよう構成されたシステムであって、標本の画像を生成するよう構成されたイメージングサブシステムであり、その標本にエネルギを差し向けるよう構成された少なくとも1個のエネルギ源並びにその標本からのエネルギを検出するよう構成された少なくとも1個の検出器を有するイメージングサブシステムと、上記イメージングサブシステムに結合された1個又は複数個のコンピュータサブシステムであり、上記標本の構成部分に関しそのイメージングサブシステムにより生成された単一のテスト画像を捕捉するよう構成されている1個又は複数個のコンピュータサブシステムと、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムにより実行される1個又は複数個のコンポーネントと、を備え、上記1個又は複数個のコンポーネントが生成モデルを含み、その生成モデルが、入力フィーチャマップボリュームを構成する画素のブロックをラベルにマッピングするよう構成された非線形ネットワークを有し、それらラベルがそれらブロックの一通り又は複数通りの欠陥関連特性を示すものであり、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記単一のテスト画像を上記生成モデルに入力するよう構成されており、上記生成モデルが、上記単一のテスト画像を複数個の画素ブロックに分割するよう、上記複数個の画素ブロックのうち少なくとも1個に関し、それら複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に属する画素のみに基づき、当該複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に備わるフィーチャを判別するよう、且つ判別されたフィーチャと、上記入力フィーチャマップボリュームを構成する画素ブロックをラベルにマッピングした結果とに基づき、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に係るラベルのうち1個を選択するよう、構成されており、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に関し選択されたラベルに基づき上記標本構成部分内の欠陥を検出するよう、構成されているシステム。

IPC (2件)：

G01N 21/956 , G01N 23/220

FI (2件)：

G01N21/956 A , G01N23/2206

Fターム (21件)：

2G001AA01 , 2G001BA08 , 2G001BA15 , 2G001CA01 , 2G001FA06 , 2G001HA13 , 2G001KA03 , 2G001LA06 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051AB06 , 2G051BB05 , 2G051BB15 , 2G051CA02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB05 , 2G051EB01

引用特許：

審査官引用 (1件)

検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-168656 出願人：パナソニック電工SUNX株式会社

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