特許
J-GLOBAL ID：201803001445120784
非球面レンズの計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
特許業務法人永井国際特許事務所
, 川久保 新一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-123527
公開番号（公開出願番号）：特開2017-227527
出願日： 2016年06月22日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】測定対象の非球面レンズである上記サンプルの全体の透過性能を測定することができ、また上記サンプルの外形形状を測定することができ、しかも、非球面ヌル上記干渉計、上記CGH上記干渉計の2台の上記干渉計を使用して計測する場合よりも、全体の測定時間を短くすることができる非球面レンズの計測装置を提供することを目的とする。【解決手段】測定対象であるサンプルを設置するサンプル台と、ヌルミラーと、上記CGHの光軸を上記干渉計が出射する光と平行になるように、上記CGHを移動させ、一方、上記干渉計と上記サンプル台との間の第1の領域の外に、上記CGHを移動させるCGH移動手段と、上記ヌルミラーの光軸を上記干渉計が出射する光と平行になるように、上記ヌルミラーを移動させ、一方、上記干渉計が出射し、上記サンプルを透過した光が通過する第2の領域以外の領域に、上記ヌルミラーを退避させるヌルミラー移動手段とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
干渉計と;
CGHと;
測定対象であるサンプルを設置するサンプル台と;
ヌルミラーと;
上記CGHの光軸を上記干渉計が出射する光と平行になるように、上記CGHを移動させ、一方、上記干渉計と上記サンプル台との間の第1の領域の外に、上記CGHを移動させるCGH移動手段と;
上記ヌルミラーの光軸を上記干渉計が出射する光と平行になるように、上記ヌルミラーを移動させ、一方、上記干渉計が出射し、上記サンプルを透過した光が通過する第2の領域以外の領域に、上記ヌルミラーを退避させるヌルミラー移動手段と;
を有することを特徴とする非球面レンズの計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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