特許
J-GLOBAL ID:200903001413578215
凹面及びホログラムを有する非球面測定装置及び方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-373065
公開番号(公開出願番号):特開2003-232608
出願日: 2002年12月24日
公開日(公表日): 2003年08月22日
要約:
【要約】【課題】 非球面測定装置及び測定方法を提供する。【解決手段】 入射光を生成する干渉計と、前記入射光を反射させて試験光として形成する非球面を有する試験部材と、前記入射光の光路上に位置し、前記試験部材に向けて前記入射光を回折させるホログラムが形成される少なくとも一つの面を有する第1の光学素子と、前記第1の光学素子の後方に整列されて前記入射光を前記非球面に進めると共に、前記非球面から反射された試験光の前記ホログラムに対する入射角を低減する凹面を有する第2の光学素子とを備える非球面測定装置。よって、ホログラム及び凹面を有する光学素子を利用して非球面の度合いが激しいレンズを精度良く測定することができる。
請求項(抜粋):
入射光を生成する干渉計と、前記入射光を反射させて試験光として形成する非球面を有する試験部材と、前記入射光の光路上に位置し、前記試験部材に向けて前記入射光を回折させるホログラムが形成される少なくとも一つの面を有する第1の光学素子と、前記第1の光学素子の後方に整列されて前記入射光を前記非球面に進めると共に、前記非球面から反射された試験光の前記ホログラムに対する入射角を低減する凹面を有する第2の光学素子とを備えることを特徴とする非球面測定装置。
IPC (3件):
G01B 9/021
, G01B 11/24
, G01M 11/00
FI (3件):
G01B 9/021
, G01M 11/00 L
, G01B 11/24 D
Fターム (26件):
2F064AA09
, 2F064BB04
, 2F064EE02
, 2F064EE05
, 2F064FF01
, 2F064GG11
, 2F064GG22
, 2F064GG41
, 2F064GG44
, 2F064GG49
, 2F064JJ01
, 2F064LL06
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065BB22
, 2F065CC22
, 2F065FF52
, 2F065FF54
, 2F065GG04
, 2F065LL04
, 2F065LL19
, 2F065LL21
, 2F065LL46
, 2F065LL51
, 2F065NN08
, 2G086FF01
引用特許: